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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 39 基板吸着ユニット制御: SPV Board Vacuum U nit(H):SPV ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品 番 Kit Name キット名称 N610165527AA Part Nam e 備 考 セクションNo. PARTS LIST Section No. R 3 MOTOR-C ON…
39
基板吸着ユニット制御:SPV
Board Vacuum Unit(H):SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610165527AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O105
( KN610165527AA-02 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
39
基板吸着ユニット制御:SPV
Board Vacuum Unit(H):SPV
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610165527AA
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
MOTOR-CONTROLLER
1
1 MTNM000015AA
S
3G3MX2-AB002-V1
TERMINAL-BLOCK
1
2 KXFP5HSAA00
S
BTBH30C4
SCREW
1
3XYN4+J8FN
Cross recessed Pan head machine screw with SW & Small round-plain wa
O106
--
( KN610165527AA-02 )
40
エジェクター用基板吸着配管部:SPV
Board Vacuum Piping(Ejector):SPV
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
MTKA000306AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O107
( KMTKA000306AA-00 )