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193-41 10 CUKYX 4.2 真空系统 1-21 4.2.2 过滤器的清洁 周期 : 每三个月 ( 所需时间 :10 分钟 ) 滤盒 C 过滤器 F4114-CUKYX-00 步 骤 (1) 拆卸装置正面下部盖板的固定螺丝 (4 颗 ) 后，拆下盖板。 (2) 按箭头 C 的方向转动滤盒取下，再取出里面的过滤器。 (3) 喷气吹除过滤器的脏污。 要 点 若在运行过程中过滤器的真空压降低时， 请换上新的过滤器。 (4) …
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4.2 真空系统
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4.2 真空系统
4.2.1 真空压的点检
周期 : 每天 ( 所需时间 :1 分钟 )
真空压
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步 骤
请目视确认真空压。
真空阀全开时 : Min.-93kPa(Min.70cmHg) 以上
运转时 : Min.-60kPa(Min.45cmHg) 以上
要 点
当真空压不足时，可能是真空气路的空气泄露或真空泵发生了故障。
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CUKYX
4.2 真空系统
1-21
4.2.2 过滤器的清洁
周期 : 每三个月 ( 所需时间 :10 分钟 )
滤盒
C
过滤器
F4114-CUKYX-00
步 骤
(1) 拆卸装置正面下部盖板的固定螺丝 (4 颗 ) 后，拆下盖板。
(2) 按箭头 C 的方向转动滤盒取下，再取出里面的过滤器。
(3) 喷气吹除过滤器的脏污。
要 点
若在运行过程中过滤器的真空压降低时，请换上新的过滤器。
(4) 将盖板边向上抵住边安装，拧紧固定螺钉。
注 意
装置主体部与盖板之间若有缝隙，料带在运行过程中可能会
从缝隙间弹出，导致发生故障或异常。
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4.3 元件识别照相机部
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4.3 元件识别照相机部
4.3.1 元件识别照相机的清洁
通知
请不要用手按压基准标记块。
若基准标记块受重压，可能会变形。
注 意
请务必使用吸尘器进行清洁。
请勿使用喷气工具 ( 气枪 )。
喷气会使装置内部的尘屑飞散，可能会导致无法正确进行识别或装置无法
正常运行。
元件识别照相机(2处)
每天 清洁 所需时间:4分钟
请用真空镊子取出掉落的元件，用镜头布擦
去灰尘。
基准标记块
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