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NPM-TT2 EJM1EC-MB-02O-00 2-5-7 -5 操作篇 2 - 5 - 7 个别 准备 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 3 ●基板支撑块下降。 1 7 ACTIVATION ●然后,确认在基准位置实际配 置的支撑销数量和设备 内保持 的支撑销数量。 ( ) 3

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安装基板支撑块(自动更换用)时,注意请勿倾斜安装
(可能与轨道有干扰)
●设置支撑销时,注意请勿碰撞到轨道等。
●设置好基板支撑块后,将支撑销安装到螺栓侧,并确
认支撑销紧靠螺栓。
12 11
取下棉纱布
13
ACTIVATION
安装托盘供料器
或者交换台车
●托盘供料器时
(→『维修保养篇』
P.14-8)
●交换台车时
(→『维修保养篇』
P.3-2
15 16
14
SERVO
ON
●只限交换台车时
●只限交换台车时
●只限交换台车时
顺序
17
把料架工作台盖拉
回原处

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操作篇
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个别
准备
支撑销(自动更换用)的安装 3
●基板支撑块下降。
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ACTIVATION
●然后,确认在基准位置实际配
置的支撑销数量和设备内保持
的支撑销数量。
( )
3

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确认支撑销的数量
1
1
+
(XY单元退避,成为可以增减支撑销的
状态)
* 当为双轨模式时,请在需要注册销的
轨道上切换轨道显示图标。(→P2-
2-1-
2
轨道显示)
3
3
+
■设备内配置的支撑销的数量和登录的支
撑销使用数量不同时
●重新登录或者设置,使两者数量相同。
(确认支撑销的数量和位置,信息被更新)
4
4
输入设备内的支撑销数量
2
2