FX3_QA_Table_Rev1.0_C.pdf - 第6页
FX-3 QA 表目录 R e v 1 . 0 0 QA表 iv AC 电源监视电压设定 10-13 OCC 灯回路的调整 10-14 OCC 的设定 10-15

FX-3 QA 表目录 Rev1.00
QA表
iii
【6】CAL 块 6-1
和 XY 面的平行调整 6-1
和 X 轴的平行调整 6-2
【7】ATC 7-1
ATC 传感器配件调整 7-1
速度控制器调整 7-2
ATC 底板上面明面度 7-3
ATC 的平行调整 7-4
【8】供料装置 8-1
供料器标记位置精度 8-1
驱动器缸筒 8-2
供料器架高度调整 1 8-3
供料器支架高度调整 2 8-4
供料器的平行度 8-5
供料器缸筒 8-6
供料器上升传感器 8-7
【9】空气 9-1
压力检测传感器 9-1
压力调整 9-2
压力调整 2(Head) 9-3
【10】电力 10-1
DC 电源输出电压 10-1
传送步进马达驱动电流 10-2
后备/自动宽度调整用步进马达驱动电流(EN以外) 10-3
后备/自动宽度调整用步进马达驱动电流(EN) 10-4
XY 轴伺服放大器的轴设置 10-5
Z/θ 轴伺服放大器的轴设置 10-6
供料线路板 CAL VAC 传感器等级 10-7
Head 真空电平以及温度传感器输出电平 10-8
HMS 回路的调整 10-9
数字压力开关的设定(正压) 10-10
数字压力开关的设定(负压) 10-11
AC 电源监视电压设定 10-12

FX-3 QA 表目录 Rev1.00
QA表
iv
AC 电源监视电压设定 10-13
OCC 灯回路的调整 10-14
OCC 的设定 10-15

QA表 NO. 1 (1/2) NO. 1 (2/2)
机种
X轴 基准侧导轨的平直度:10㎛以内(目标为6㎛以下)
纵动侧导轨的平行度:10㎛以内(目标为6㎛以下)
1. 确认方法
(平直度测量) 在直线导向器的滑块上安装杠杆式千分表和直尺的上面相接触,
使直尺的两端为0,在各定位螺钉的位置进行测量,平直度要在0.01以内
(平行度测量) 在下侧的直线导向器块上安装千分表,和从动侧导轨相接触,在各定位螺钉的位置进行测量,
平行度要在0.01以内。另外,两根导轨的宽度要在150±0.1mm以内。
平直度、平行度不仅影响X方向的贴装精度还影响导向器的寿命。 2.调整方法
(平直度) 拧松基准侧导轨的定位螺钉进行调整。
(平行度) 拧松从动侧导轨的定位螺钉进行调整。
1. 贴装精度的恶化
2. 吸附错误的发生
3. 因吸附不良而造成的触头站立,激光错误的发生
NO
①
② NO. 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【1】-1
货号
40046750
预想故障(应规格调整值不良而发生的故障)
对象元件
品名 有关质量特性
LINEAR_GUIDE_X
确认方法及调整方法(故障处理方法)
功能名称 X轴直线导向器的平直·平行(1/2) 编制日期 2007/8/3
FX-3 装置名称 XY装置(1)
变更履历
日期 内容
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用(规格调整值的意义)
40046741 X_FRAME_S
'07.08.03 新设
直尺
基准侧导轨
X轴车架
从动侧导轨
150±0.1
平直度测量
平行度测量