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操作手册 2-8 2- 3 生产准备 2-3- 1 设置基板 < 步骤 > 下面说明在「 生产 」 的准备 画面 *1 上,进行各 项设置的方法。 在以后的说明中 除特别注明之外 ,一般指的是 生产已经启动的 状态。 *1 生 产的 支援 准备画面具备的功能: 从生产的菜单选择 [ 生产辅助 ]-[ 支援准备 ] ,在生产 画面 中 选择 菜单操作,即可 对生产准备阶段 进行检查和调 整,提高操作效 率。 有关基板传送的 详…

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操作手册
2-7
2-2-3-3 运行内容
预热运行期间,显示下列画面。
选择对象后,开始运行下列预热内容。
运行对象
运行内容
运行
X
Y
Z
θ
ZA
轴驱动、真、吹风的
ON/OFF
动作、
ATC
板的开/关动作。
但,
ATC
滑板动作在反复开、关
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次的动作后,会自动结束。
传送
运行传入马达、传出马达、支撑台马达的驱动。
画面上显示如下内容
<STOP>按钮、或按画面上的[停止]按钮后,会显示画面,要求确认是否结束预热。
选择[确定] 确认结束的画面上选择[确定]时为结束预热,回到初始画面。
次开始预热时,无需清除时间或次数即可继续运行。
但若要把时间改为次数、次数改为时间,则原预热的运行时间累计或次数累计
记录会被清除
选择[取消]选择[取消],则再开始预热。
项目
内容
设置内容
显示初始画面中设定的时间、次数或温度。
温度
显示目前的运行时间、运行次数或目前温度。
总运行信息
显示迄今为止执行预热的总时间和次数。
在设备运行信息画面中,可以清除该数
初始画面上设置的
时间/次数/温度
总运行信息
迄今为止实行预热
的总时间/次数
当前的实行的
时间/次数/
温度
操作手册
2-8
2-3 生产准备
2-3-1 设置基板
<步骤>
下面说明在「生产的准备画面*1 上,进行各项设置的方法。
在以后的说明中除特别注明之外,一般指的是生产已经启动的状态。
*1 产的支援准备画面具备的功能:从生产的菜单选择[生产辅助]-[支援准备],在生产画面选择
菜单操作,即可对生产准备阶段进行检查和调整,提高操作效率。
有关基板传送的详细说明,请参使用说明书4-5-2-5 基板控制」
有关支援准备的详细说明,请参使用说明书2-11-1 支援准备
(注意)启动「生产」需要读入生产程序。
配置支撑销
调整传送轨道宽度
操作手册
2-9
2-4 生产画面
2-4-1 生产画面的启动
主画面的菜选择[生产]-[基板生产],或用程序快捷方式[基板生产]则会显示如下的生产条件设
置画面。
请指定生产条件(参见「2-8-2 生产条件画面」)