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操作手册 3-6 1) 请目检确认 Head 单元正面 部位过滤 器箱内的「空气过 滤器① 」没有脏污。 2 ）请通过 「过滤器脏污检查」 确认没有问题 。 检查过滤 器 脏污 「使用 说明书 10-3-3- 2 检查过滤器 脏污 」 执行结果若有问 题，会显示提示 ，敦促更换。 3) 如果有脏污， 请更换 新的过滤器。 1) 把过滤器箱的「固定螺丝 ② 」（ 左右 2 处）拧松，取下 「过滤器箱 U ① 」。 * ①③形状因序号而异。…
操作手册
3-5
1) 请确认没有漏气。
1）接通主机的电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制 「操作说明书 第 8 章 手动控制」
此功能用于确认各项动作、检查传感器的开／关。
检查项目
3-1-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-1-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容 检查各气缸的动作
＜左侧内侧＞
检查漏气
指状阀
选择功能栏的「手动控制」
启动功能。
操作手册
3-6
1) 请目检确认 Head 单元正面部位过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2）请通过「过滤器脏污检查」确认没有问题。
检查过滤
器脏污
「使用说明书 10-3-3-2 检查过滤器脏污」
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
3) 如果有脏污，请更换新的过滤器。
1) 把过滤器箱的「固定螺丝②」（ 左右 2 处）拧松，取下「过滤器箱 U①」。
*①③形状因序号而异。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3) 若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
*当过滤器顶部有突起时 件号：E3052729000
4) 把「 过 滤器③」插入「过滤器箱 L④」， 要 插 紧，用「固定螺丝②」固定好。（紧固力矩：0.7 N·m）
此时，请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-1-5 空气过滤器（LNC120-8 Head）
实施频度 ：每月
检查内容 检查空气过滤器脏污
更换 更换新的空气过滤器 使用工具 ：螺丝刀
更换标准： 6 个月
过滤器③ 件号：40046646
①
有突起。
过滤器③ 件号：E3052729000
①
④
②
③
②
①
③
④
操作手册
3-7
1) 请检查传送带有无明显的磨损、破损、松弛。
2) 如果有磨损、破损等，请更换新的传送带。
1) 把安装在 AB 部位长孔中的调整传送带松紧用的滑轮松开。
2） 松开连接在 A 部分长孔上的皮带张力调节滑轮。
3） 请从传送皮带轮上取下传送带，并更换下列零件编号的传送带。
MC RevB 前
SIDE Left Center Right
Front 侧
40107793 40107791 40107793
Rear 侧
40092060 40107791 40107793
MC RevB 以后
SIDE Left Center Right
Front 侧
40107793 40107791 40107793
Rear 侧
40107793 40107791 40107793
4） 调整传送带的张力。
①在传送带松弛的状态（传送带上没有张力）时，用油笔将两个标记附着在传送带的平坦部分上，距
离“B”为 200 mm。
②将 A 部分的输送带按照与 1）相反的顺序移动，以便拉紧输送带。
将传送轮固定在这两个标记变为 201 mm 的位置。
请注意不要通过在工作台部分上固定皮带张力来抬起传送带导轨 S
③安装完成后，请使用“手动控制”进行操作，确认没有异常噪音，断线等问题。
④请在一周内再次检查紧张情绪。
检查项目
3-1-6 传送带
实施频度 ：每周
检查内容 检查传送带的磨损、破损、松弛
更换 更换传送带
使用工具：
螺丝刀、扳钳
更换标准 ： 0.5 年
A
A
A
R
L
CTR