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- 8 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 401-37055 VACUUM PUMP UNIT 真空ポンプ組 1 2 400-99548 VACUUM PUMP 真空ポンプ (1) 3 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW ダブルブランチユニバー サルエルボ (1) 4 PX-9500070-00 PLUG プラグ…

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4. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(1)
ベースフレーム電装関係(1)
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13
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5
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9
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15
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21
22
23
1
16
24
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REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-37055 VACUUM PUMP UNIT
真空ポンプ組
1
2 400-99548 VACUUM PUMP
真空ポンプ
(1)
3 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
(1)
4 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
(1)
5 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
(1)
6 400-99550 VAC_PUMP_PLATE
真空ポンププレート
(1)
7 SM-1051052-TN PLATE SCREW M5 L=10
皿ねじ M5 L=10
(4)
8 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ (樹脂製)
(1)
9 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
(1)
10 CM-3003000-02 HIGH TEMPARATURE CAUTION LABEL 2 (25)
高温注意シール2(25
(1)
11 400-99549 VAC_PUMP_BASE
真空ポンプベース
(1)
12 SL-6040892-TN SCREW M4 L=8
座金付き六角穴ボルト M4 L=8
(4)
13 SL-6040892-TN SCREW M4 L=8
座金付き六角穴ボルト M4 L=8
(1)
14 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
15 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ M4X0.7 L=6
(4)
16 401-37039 BRAKER_BR_ASSY
ブレーカーブラケット組
1
17 401-36744 BRAKER_BRACKET
ブレーカーブラケット
(1)
18 HA-0063400-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
19 HA-0063400-0B CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
20 HA-0063400-10 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
21 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ M4 L=8
(4)
22 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(1)
23 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ M4X0.7 L=6
(1)
24 400-99554 VACUUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT
真空ポンプメンテナンスキット
1
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5. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(2)
ベースフレーム電装関係(2)
43 44
36
42
3
3
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