N7201A642C03(1)DX操作手册.pdf - 第249页
NPM - DX EJM8D C - MB - 06O - 00 1 6-1-1 -2 2 2 确的供给 1 + 3 ( , ) 确供给 ( ) : - 100~ - 87 k Pa

NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
开前
的 1
6-1-1-1
6-1-1
确
供给的。
: 要 : 3 (ON)
1
2
1
2
3
4
主
(0.500 ~ 0.550 MPa)
供给
(B基台的)
(B 基台的)
供给
(A 基台的)
(A 基台的)
件

NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
1
6-1-1-2
2
2
确的供给
1
+
3
(,)
确供给 ()
: -100~-87 kPa

NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
开前
6-1-1-3
(主)
的 2
1
2
3
6-1-1
●: 4
: (3 mm) : 3
主在,。
,的保
: 4
保
主
的
1: 。
2: 。
3: 。
安装的保