P-311-003.pdf - 第130页
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0912-002
PEC RECOGNITION SECTION
基板認識部(R流れ)Fig. D1
PEC Recognition Section(Right Flow)
基板認識部(L 流れ)Fig. D1
PEC Recognition Section(Left Flow)
UNIT-3: PEC RECOGNITION SECTION
CONTENTS
Fig. D1
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
Fig.
D1-A1L
全体図１(
L
流れ )
PARTS LAYOUT-1(Left Flow)
Fig.
D1-A1R
全体図１(
R
流れ )
PARTS LAYOUT-1(Right Flow)
Fig. D1-A2
全体図２
PARTS LAYOUT-2
Fig. D1-1
X
軸駆動部
X Axis Driving Section
Fig. D1-2L
基板認識カメラ、バックアップピン自動段取り
(
L
流れ )
PEC Recognition Camera, Back-Up Pin Auto Set Up(Left Flow)
Fig. D1-2R
基板認識カメラ、バックアップピン自動段取り (
R
流れ )
PEC Recognition Camera, Back-Up Pin Auto Set Up(Right Flow)
Fig. D1-3
ソレノイドバルブ
Solenoid Valve
Fig. D1-4
基板検出部
PEC Detection Section
Fig. D1-5
Y
軸駆動部
Y Axis Driving Section
Fig. D1-6
エア配管
Air Piping
Fig. D1-7
ケーブル
Cable
0912-002
Fig. D1
UNIT-3
Fig. D1
PEC RECG