DECAN_S1_Admin(Chi_Ver1.3).pdf - 第403页
14-43 Machine Calibration 14.3.8.1. Fix Camera Calibration (Scale & Rotation & Position) 针对 Fix1 Camera 的 S cale(um/pix el) 、 Rotation(deg) 及 Position(mm) 实行校准 (Calibration) 。 为了校 准 Fix Camera ， 需要使 用另行制作的 Fiduci…
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
图
14.12 Head/ Camera/ Light Calibration”
对话框
1:
消息窗
<Calibration Menu(标准菜单)> 领域
选择要Calibration的项目。 按特定项目的按钮则在消息窗依次显示必要的说明。
按照此说明操作，就能完成Calibration。
<Gantry(双悬臂)> 组合框
选择要执行校正的Gantry。
<Target Camera(目标摄像)> 组合框
选择将要设定照明值数的照相机。
<Light(亮度)> 按钮
设定已选择的照相机的照明值数。
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Machine Calibration
14.3.8.1. Fix Camera Calibration (Scale & Rotation & Position)
针对Fix1 Camera的Scale(um/pixel)、Rotation(deg)及Position(mm)实行校准
(Calibration)。为了校准Fix Camera，需要使用另行制作的Fiducial Mark治具(CNT20
Nozzle)。
下面是 Fix Camera 的校正步骤。
1. 点击<Nozzle Prepare> 按钮。
2. 点击<确认> 按钮。
3. 为了消除所有喷嘴手动低下头于Z轴<Next>按钮，连接到头部。
那么，Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有的 Z轴。此时，请手动
除去所有已贴装的吸嘴。
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4. 将显示“Set Calibration Tool into hole 1 of ANC1”信息。在ANC1的1号孔上安装
CNT20喷嘴后，点击<确认>按钮。
5. 选择<Automatic Next> 校验盒后, 点击<5. Fix1 Cam.> 按钮。
6. 自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。如果需要适
用Calibration值，则点击<Update>按钮。