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CM602-L 维修手册 3.2 检查和对策 Pa ge 3- 38 3.2.2 真空泵温度异常 1. 确认冷却扇是否 在旋转 请拆卸整体交换台车， 执行 [ 输出确认 ] 。 请确认从冷却扇的出风 口是否向外送 风。 ( 不必拆卸主体 盖。 ) 冷却扇在本机后面的 A 、 B 工作台 2 处设置。 ( 请参照下图 ) 从出风口未向外送风时 ，可判断为冷 却扇出了故障 。需进行更换 ，届时与本公 司联系。 冷却扇的出风口 ( 卸下盖后的…
CM602-L
维修手册
3.2
检查和对策
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压力开关的设定方法
1.
键锁定的解除
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“Loc”
。
② 按 使
“UnL”
显示，然后再按
[SET]
，解除键锁定。
2.
压力的设定
① 在测定模式时按
[SET]
，将变为设定值显示。
②
“P_1”
和现在的设定值将交替闪炼显示。
③ 按
[SET]
，将显示如下设定值。
④ 按 ，将变为数值变更模式。
(
请参照数值设定的方法
)
⑤ 将
LCD
显示如下设定。
“P_1” “.450”
“P_2” “.600”
“H” (
应差
) “.050”
3.
数值设定的方法
① 输入压力设定等数值时，按 ，进入设定值变更模式后第
1
位将会闪炼。
② 按 ，任意设定数值。
(
输入数值中如果
10
秒以上不按按
钮，该数值将被自动设定，然后返回到设定值显示。
)
③ 按
[SET]
，进一位的数值将闪炼。
(
最大位数为
0
时，
或
将会闪炼。
表示为正
0
。
表示为
负
0
。
)
(
在最大位数上按
[SET]
时，第
1
位数将会闪炼。
)
④ 按
[SET]1
秒以上，将返回到设定值显示。
4.
键锁定的设定
① 按
[SET]4
秒以上，将显示键锁定的设定
“UnL”
。
② 按
，使
“Loc”
显示，按
[SET]
设定键锁定。
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CM602-L
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3.2
检查和对策
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3.2.2
真空泵温度异常
1.
确认冷却扇是否在旋转
请拆卸整体交换台车，执行
[
输出确认
]
。
请确认从冷却扇的出风口是否向外送风。
(
不必拆卸主体盖。
)
冷却扇在本机后面的
A
、
B
工作台
2
处设置。
(
请参照下图
)
从出风口未向外送风时，可判断为冷却扇出了故障。需进行更换，届时与本公司联系。
冷却扇的出风口
(
卸下盖后的状态
)
(
左
: B
工作台
右
: A
工作台
)
使真空泵置于
ON
的顺序
1.
拆卸整体交换台车。
( “1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装
”)
2.
在机器调整菜单中按
[
输出确认
]
。
3.
选择工作台。
•
画面为高速吸头
(12
吸嘴
)
。
4.
按
[
真空泵
]
。
•
OFF
的显示将被切换为
ON
，然后真空泵开始
旋转。
∗
作业完了后，请以同样的顺序使真空泵置于
OFF
。
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EJM4A-AB01
4Z4C-404E
EJM4A-Ma-0016
3
4
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3.2
检查和对策
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2.
设定热动继电器的保护电流值
①
通常只进行复位操作。
(
请参照下图
)
复位
A
工作台的热继电器时，请复位
A
工作台前面的复位开关。
复位
B
工作台的热继电器时，请复位
B
工作台前面的复位开关。
②
复位后再次发生真空泵温度异常时，请重新设定保护电流值。
(
请参照下图
)
用十字螺丝刀使台架内的热继电器保护电流值设定为
2.4A
。
设定后按下复位开关使热动继电器复位。
热动继电器
(
卸下盖后的状态
)
进行上述作业后仍不解除异常现象时，请与本公司联系。
4Z4C-439P
复位开关
EJM4A-AA01
4Z4C-438P
保护电流的设定值
EJM4A-AB01
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