00191173-01.pdf - 第66页
3 Kalibrierfunktionen Bedienungsanleitung Testprogramm S ITEST 3.9 Flip-Chip-Kamera kalibrieren (SIPLACE 80F) Software-Version 10.xx Ausgabe 03/9 8 3 - 18 ● Wählen S ie im Me nü "Höhe fü r KT messen " die F unk…
Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST 3 Kalibrierfunktionen
Software-Version 10.xx Ausgabe 03/98 3.9 Flip-Chip-Kamera kalibrieren (SIPLACE 80F)
3 - 17
3.9 Flip-Chip-Kamera kalibrieren (SIPLACE 80F)
●
Treffen Sie die Vorbereitungen wie unter Abschnitt 3.1 und Abschnitt 3.1.1 beschrieben.
●
Wählen Sie im Menü "Vision-System den Menüpunkt Flip-Chip Kamera aus, und betätigen Sie die
RETURN-Taste. Am Bildschirm wird das Menü "Flip-Chip Kamera" dargestellt.
Übersicht der Funktionen:
-
Kameraposition Menü zur Eingabe oder Ermittlung der Flip-Chip-Kameraposition
-
Kamera kalibrieren Kalibrieren der Flip-Chip-Kamera
-
Höhe für KT messen Menü zur Vermessung der Fokusposition der Flip-Chip-Kamera
-
Kalibr.faktoren anz. Anzeige der ermittelten Flip-Chip-Kamera-Werte
-
Kamera Nummer Öffnen des Eingabefeldes für die Kameranummer
●
Wählen Sie im Menü "Flip-Chip Kamera" den Menüpunkt Höhe für KT messen an.
Am Bildschirm wird das Menü "Höhe für KT messen" dargestellt.
Übersicht der Funktionen:
-
Kalibr.teil abholen Kalibrierteil mit IC-Kopf abholen
-
Kalibr.teil ablegen Kalibrierteil in der Kalibrierteiltasche ablegen
-
Fokusposition messenMessung der Fokusposition
-
z-Delta messen Ermittlung des z-Deltas
(Oberkante Transport zur Fokusposition der Flip-Chip-Kamera)
-
Fokuspos. (DIGIT) Anzeige der gemessenen Fokusposition
-
z Schrittw. (DIGIT) Eingabe bzw. Ändern der z-Schrittweite für die Fokuseinstellung
KT-Pos. anfahr.+übernehm.
Akt. Pos. übernehmen
Akt. Pos. eingeben
LP-Kamera Fkt.
BE-Kamera Fkt.
IC-Kamera Fkt.
Flip-Chip Kamera Fkt.
Vision-System
Flip-Chip Kamera
Kameraposition
Kamera kalibrieren
Höhe für KT messen
Kalibr.Faktoren anz.
Kamera Nummer
KT-Pos. anfahr.+übern.
Akt. Pos. übernehmen
Akt. Pos. eingeben
LP-Kamera Fkt.
BE-Kamera Fkt.
IC-Kamera Fkt.
Flip-Chip Kamera Fkt.
Vision-System
Flip-Chip Kamera Fkt
Kameraposition
Kamera eichen
Höhe Kamera messen
Eichfaktoren anz.
Kamera Nummer
Höhe für KT messen
Kalibr. Teil abholen
Kalibr. Teil ablegen
Fokus einstellen
z-Delta messen
Fokuspos. (DIGIT)
z Schrittw. (DIGIT)
3 Kalibrierfunktionen Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST
3.9 Flip-Chip-Kamera kalibrieren (SIPLACE 80F) Software-Version 10.xx Ausgabe 03/98
3 - 18
●
Wählen Sie im Menü "Höhe für KT messen" die Funktion
Kalibr.teil abholen
an, und betätigen Sie die
RETURN-Taste. Der IC-Kopf nimmt das Kalibrierteil mit der Pipette auf und fährt über die Flip-Chip-
Kamera. Läßt sich das Kalibrierteil nicht abholen, müssen Sie die Kalibrierteilposition kalibrieren (siehe
Abschnitt 3.1.2)
●
Am Bildschirm ist die Flip-Chip-Kamera eingeschaltet. Schalten Sie mit der Tastenkombination ALT 9 auf
die SITEST- Bedienoberfläche um.
●
Wählen Sie die Funktion
Fokus einstellen
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
●
Schalten Sie den Monitor mit der Tastenkombination ALT + (+) auf die Flip-Chip-Kamera um.
●
Bestätigen Sie mit der RETURN-Taste.
●
Stellen Sie mit Hilfe der Cursor-Tasten
↑↓
das Kalibrierteil so ein bis es am Bildschirm scharf erscheint.
(Vorgehensweise für das Verfahren des Portals beim Teachen siehe Abschnitt 0.4.1).
●
Betätigen Sie die Cursor-Taste
↑
sooft, bis das Kalibrierteil unscharf erscheint. Notieren Sie sich die aktu-
elle z-Achsenposition. (Achstestbox Achse Nr. 6, siehe Service- oder Einstellanweisung SIPLACE)
●
Betätigen Sie die Cursor-Taste
↓
sooft, bis das Kalibrierteil unscharf erscheint. Notieren Sie sich die aktu-
elle z-Achsenposition. (Achstestbox Achse Nr. 6, siehe Service- oder Einstellanweisung SIPLACE)
●
Ermitteln Sie den Mittelwert der beiden z-Achspositionen.
●
Positionieren Sie mit Hilfe der Cursor-Tasten
↑↓
auf den Mittelwert. Das Kalibrierteil muß am Bildschirm
scharf erscheinen.
●
Betätigen Sie nach Beendigung der Fokuseinstellung die ESC-Taste. Der Monitor wird in den normalen
Programm-Modus zurückgeschaltet.
●
Wählen Sie die Funktion
z-Delta messen
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Der ermittelte Wert wird am Bildschirm angezeigt.
●
Wählen Sie die Funktion
Kalibr.teil ablegen
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Der IC-Kopf legt das Kalibrierteil in der Kalibrierteiltasche ab.
●
Betätigen Sie die ESC-Taste um in das Menü "Flip-Chip Kamera" zurückzukehren.
●
Wählen Sie die Funktion
Kamera kalibrieren
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Der Kalibriervorgang wird an der Flip-Chip-Kamera durchgeführt.
●
Wenn Sie die ermittelten Werte nach Abschluß des Kalibriervorgangs ansehen wollen, wählen Sie die
Menüfunktion
Kalibr.faktoren anz.
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Die ermittelten Werte werden angezeigt.
●
Wenn Sie die Position der Flip-Chip-Kamera ermitteln wollen, wählen Sie im Menü "Flip-Chip-Kamera"
den Menüpunkt
Kameraposition
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Am Bildschirm wird das Menü "Kameraposition" dargestellt.
Übersicht der Funktionen:
-
Kamera Pos. eing. Anzeige bzw. Eingabe der x- und y-Position der Flip-Chip-Kamera
-
Messen Ermittlung des Kameraposition in x- und y-Richtung
KT-Pos. anfahr.+übern.
Akt. Pos. übernehmen
Akt. Pos. eingeben
LP-Kamera Fkt.
BE-Kamera Fkt.
IC-Kamera Fkt.
Flip-Chip Kamera Fkt.
Vision-System
Flip-Chip Kamera
Kameraposition
Kamera eichen
Höhe Kamera messen
Eichfaktoren anz.
Kamera Nummer
Kameraposition
KameraPos. eing.
Messen
Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST 3 Kalibrierfunktionen
Software-Version 10.xx Ausgabe 03/98 3.10 Koplanaritäts-Lasermodul kalibrieren (SIPLACE 80F)
3 - 19
●
Wählen Sie im Menü "Kameraposition" die Funktion
Messen
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Der IC-Kopf fährt mit der Flip-Chip-Kamera über das Kalibrierteil.
●
Wenn Sie die ermittelten Werte ansehen wollen, wählen Sie die Menüfunktion
Kamera Pos. eing.
an,
und betätigen Sie die RETURN-Taste. Die ermittelten Werte werden angezeigt.
●
Betätigen Sie die 3 x die ESC-Taste, um in das SITEST-Hauptmenü zurückzukehren.
3.10 Koplanaritäts-Lasermodul kalibrieren
(SIPLACE 80F)
HINWEIS
Vor dem Kalibrieren des Koplanaritätsmoduls müssen alle in diesem Kapitel vorher beschriebenen Kalibrier-
vorgänge durchgeführt worden sein.
●
Treffen Sie die Vorbereitungen wie unter Abschnitt 3.1 beschrieben.
●
Holen Sie die Pipette Nr. 417 mit dem IC-Kopf ab .
●
Wählen Sie im Hauptmenü den Menüpunkt
Funktionen
an, und betätigen Sie die RETURN-Taste.
Am Bildschirm wird jetzt das Menü "Funktionen" dargestellt.
●
Wählen Sie in diesem Menü den Menüpunkt
Coplan-Funktionen
an, und betätigen Sie die RETURN-
Taste. Das Menü "Coplan-Funktionen" wird geöffnet.
Übersicht der Funktionen:
-
Funktionstest Funktionstest durchführen
-
Laserpos. xy messen Position des Lasermoduls in x- und y-Richtung (Mittelpunkt Laserfokus) ermitteln
-
Focushöhe messen Messung der Focushöhe (z-Position)
-
z-Delta messen Delta der Höhe z von BE-Kameraoberkante zu Lasermodul wird berechnet.
-
Version lesen Anzeige der Versionsnummer des Lasermoduls
-
Laserpos. anfahren Laserposition (Mittelpunkt Laserfokus) anfahren
-
Parkpos. anfahren Anfahren der Parkposition der x- und y-Achsen
-
Positionen Anzeige der ermittelten Laserpositionen (x, y, z-Startposition, z-Schrittweite)
Funktionen
Transport
CRDL
BE-Tisch
Pip.Wechsler eichen
Coplan-Funktionen
bewegl. Tischseite suc
Breitenverstellung
Funktionstest
Laserpos xy messen
Focushöhe messen
z-Delta messen
Version lesen
Laserpos anfahren
Parkpos. anfahren
Positionen
Coplan-Funktionen