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第 7 章 : 保养 TUT -XP142-1.1S XP-142E 操作入门 7-6 Edition 1.1 7.5 真空泵所用的过滤器的清扫 ( 每周 ) 要点 为 了防 尘， 把 过滤器 安 装在真空泵内部。 由于定期进行过滤器的清 扫和 更换 ，可以稳定 地 吸取元件 。 方法 1. 卸 下机器后 侧 (Side 2) 的 MFU. 2. 切断机器的电源。 警告 操作前请切断主电源。 3. 使真空 管 内 减压 ，确 认负压计 …

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TUT-XP142-1.1S 第 7 章: 保养
Edition 1.1 7-5 XP-142E 操作入门
7.4 量规芯片元件的清扫 (每周)
要点
在指定的位置上装载有量规芯片元件以用于吸嘴回转中心的测定或贴装反馈补正等。必须
定期清洗以保证稳定的补正和测定。
方法
警告
操作前请切断主电源。
使用柔软刷子(清扫照相机镜头用)清扫两面。
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第 7 章: 保养 TUT-XP142-1.1S
XP-142E 操作入门 7-6 Edition 1.1
7.5 真空泵所用的过滤器的清扫 (每周)
要点
为了防尘，把过滤器安装在真空泵内部。
由于定期进行过滤器的清扫和更换，可以稳定地吸取元件。
方法
1. 卸下机器后侧(Side 2)的 MFU.
2. 切断机器的电源。
警告
操作前请切断主电源。
3. 使真空管内减压，确认负压计的指针指向零。
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TUT-XP142-1.1S 第 7 章: 保养
Edition 1.1 7-7 XP-142E 操作入门
4. 在机器后侧(Side 2)，如下图所示拆去盖板。
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5. 拧松套环，拆除过滤器罩，卸下过滤器元件。
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6. 将过滤器元件上粘附的垃圾用压缩空气等吹去或更换新的过滤器元件。
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