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NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02 2-1-6 -2 触摸屏 XY 单元 真空泵 后侧 前后侧 前后侧 X 轴线性导轨 电缆支架 概 要 真空泵 Y 轴线性导轨 电缆支架 Y 轴滑动板 Y 轴滑动板 触摸屏
NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02
概要
各单元定期检查部位 1
＜各类型共同点＞
各种压力表
元件排出箱
2-1-6-1
维修保养篇
2-1-6
前侧
后侧
主气压
前后侧
①真空泵供给压
③清扫吹气压
②真空破坏压
元件排出箱
1
2
34
④选购件用
NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02
2-1-6-2
触摸屏
XY单元
真空泵
后侧
前后侧
前后侧
X轴线性导轨
电缆支架
概
要
真空泵
Y轴线性导轨
电缆支架
Y轴滑动板
Y轴滑动板
触摸屏
NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02
概要
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
2-1-6-3
维修保养篇
2-1-6
前后侧
基板传送皮带
滚珠花键
基板检测传感器
基板支撑块
※基板检测传感器在轨道1、轨道2的投光侧、受光侧各
有6个。
基板传送皮带
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
线性导轨