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NPM-D3 EJM6DC-MB-02M-02 概要 基板传送带 各单元定期检查部位 2 ＜各类型共同点＞ 2-1-6 -3 维修保养篇 2-1-6 前后侧 基板传送皮带 滚珠花键 基板检测传感器 基板支撑块 ※ 基板检测传感器在轨道 1 、轨道 2 的 投光侧、受光侧各 有 6 个。 基板传送皮带 线性导轨 宽度调整滚珠丝杠 滚珠花键 宽度调整滚珠丝杠 线性导轨