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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-12 M-04 12-1 -5 基板搬送コンベヤーの 搬送ベルトの交換 3 メンテナンス編 12-1 基板搬送を確認す る (→ 『操作編』 P.5-2-8) 鍵を外して ON 14 15
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-12M-04
12-1-4
ベルトテンション
を調整する
(→ P.6-5)
10
プレートを固定する
●ねじ(6本)
プレート
■矢印方向から見た図
プレート
B面 A面
●プレートをA面の段差に押し当て、B面と平行
となるように取り付ける。
●ねじ:M4
2か所
フィーダーテーブ
ルカバーを取り付
ける(→P.3-3)
手順
へ
14
トレイフィーダー、
または交換台車を
取り付ける
●トレイフィーダーのとき
(→P.14-8)
●交換台車のとき
(→P.3-2)
11
12
13
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-12M-04
12-1-5
基板搬送コンベヤーの
搬送ベルトの交換 3
メンテナンス編
12-1
基板搬送を確認す
る
(→『操作編』P.5-2-8)
鍵を外して
ON
14
15
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-12M-04
12-2-1
1
2
トレイフィーダー、
または交換台車を
取り外す
●トレイフィーダー のとき
(→P.14-8)
●交換台車のとき
(→P.3-2)
(→『操作編』P.2-5-4)
3
主電源スイッチを
OFFにし、鍵をか
ける
OFF
4
5
X軸を奥へ押す
6
●ねじ:M4
2か所
■各レーン2本
可動側
固定側
可動側
固定側
レーン1側
レーン2側
フィーダーテーブ
ルカバーを取り外
す(→P.3-3)
延長コンベヤー (オプション)
の搬送ベルトの交換 １
下流工程に延長コンベヤーがあるときの交換方法を前側の作業で説明します。
使用工具：六角レンチ (2 mm) 所要時間：30 ~ 60分
メンテナンス編
12-2
手順
へ
8
7
ベルトを取り外す
●手前に引き抜くように取り外す。
●廃棄するときは、ニッパーなどで
切って取り外す。
ベルト
コンベヤー幅を
150 mmにする
(作業性をよくする
ため)