TM1794_帺摦僋儕乕僯儞僌徻嵶愝掕.pdf - 第4页

ヤ マ ハ 発 動 機 株 式 会 社  I M 事 業 部     マ ウ ン タ ー 技 術 部  ソ フ ト 開 発 グ ル ー プ   MDOC-SOF T50071 - 4 - 表 3.1 クリーニング詳細設 定画面の設定項 目 項目 初期値 入力範囲 内容 詳細自動間 隔(枚) 0 0~9999 (基板枚数管理の場 合のみ)  基板何枚毎にク リーニングを 実行するかを 設定しま す。 …

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MDOC-SOFT50071 - 3 -
3
33
3.
..
. 設定方法
設定方法設定方法
設定方法
本機能を使用するための設定は以下の通りです。
3.1
3.13.1
3.1.
..
. 基板枚数管理
基板枚数管理基板枚数管理
基板枚数管理の
場合
場合場合
場合
クリーニング詳細設定はすべて「クリーニング詳細設定」画面で行います。[印刷]-[クリーナ]–
[詳細設定] タンを押下、「クリーニング詳細設定」画面を開きます(図 3.1)。
「クリーニング詳細設定」画面では、基板枚数間隔ごと(「基板枚数管理 1」タブ~「基板枚数管
4」タブの最 4 種類)に、最大 10 回分(5 往復)のクリーニング動作を設定することができます。
クリーニングの実行間隔を「詳細自動間隔」に入力し、各動作の「クリーニングタイプ、「スピー
ド」、「吸引」を設定してください。
なお、「クリーニングタイプ」を「なし」に設定すると、それ以降のクリーニングは実行しません。ま
た、「詳細自動間隔」を’0’に設定すると、それ以降の基板枚数管理タブの設定をすべて無効にす
ることができます。
図3.1[クリーニング詳細設定] 画面 -[基板枚数管理] タブ
「なし」に設定されているため、No.6 以降の設定は無効となります
「0」を設定すると、「基板枚数管理 2」タブ以降は無効となります
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MDOC-SOFT50071 - 4 -
3.1 クリーニング詳細設定画面の設定項目
項目 初期値 入力範囲 内容
詳細自動間隔(枚) 0 0~9999 (基板枚数管理の場合のみ)
基板何枚毎にクリーニングを実行するかを設定しま
す。
「0」を設定すると、それ以降の基板枚数管理タブ
設定は無効となります。
クリーニングタイプ 乾式 乾式/
湿式/
なし
ーナガー
行します。
「湿式」:クリーナーガーゼに溶剤を染み込ませた状
態でクリーニングを実行します。
「なし」:この行以降のクリーニングは実行しません。
スピード(%) 100 1~100 クリーニング時にクリーニングユニットが移動する速
( [スピ
(mm/秒)] 項目と連動します)
スピード(mm/秒) 225 1~225 クリーニング時にクリーニングユニットが移動する速
( [スピ
(%/秒)] 項目と連動します)
吸引 使用 使用/
未使用
使用」リーングマスを吸なが
ーニングユニットが移動します。
「未使用」:クリーニング時、マスクを吸引せずにクリ
ーニングユニットが移動します。
[注意]
湿式クニンに吸引を使用と、した
の場、基板[Ea8816:データク警
告]を表示しますので、設定を変更してください。
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[印刷] – [クリーナ] タブの「乾式自動間隔(枚)」、「湿式自動間隔(枚)」、「手動間隔(枚)」に値を
力すれば、詳定のニンと併用することがますただ、各動間及び
間隔は以下の大小関係を満たすように設定してください。
乾式 < 湿式 < 基板枚数管 1< 基板枚数管理 2< 基板枚数管 3< 基板枚数管 4< 手動
基板枚数管理の複数のクリーニング実行タイミングが重なった場合、より間隔の大きいクリーニ
ングを先して実行ます。このとき、実行したクーニングより間隔の小さいクーニンのクリ
ーニングカウンタ 0 にクリアされます。(クリーニングカウンタの値は、[モニタ] – [カウンタ] タブ
で確認できます。図 3.2 参照)
例えば、「乾式自動間隔」を 2 枚、「基板枚数管 1」の「詳細自動間隔」を 3 、「基板枚数管理
2」の「詳細自動間隔」を 4 枚に設定した場合、表 3.2 のようにクリーニングが実行されます(括弧内
の数字は、クリーニングカウンタの値を表します)。
3.2 基板枚数管理クリーニングの実行例
基板
1 枚目
基板
2 枚目
基板
3 枚目
基板
4 枚目
基板
5 枚目
基板
6 枚目
基板
7 枚目
基板
8 枚目
乾式
クリーニング
(1)
実行
(2)
カウンタ
クリア
(0)
カウンタ
クリア
(0)
(1)
実行
(2)
カウンタ
クリア
(0)
カウンタ
クリア
(0)
詳細設定
基板枚数管理 1
クリーニング
(1)
(2)
実行
(3)
カウンタ
クリア
(0)
(1)
(2)
実行
(3)
カウンタ
クリア
(0)
詳細設定
基板枚数管理 2
クリーニング
始
(1)
(2)
(3)
実行
(4)
(1)
(2)
(3)
実行
(4)
なお、基板枚数管クリニングと時間管理クーニンの実行タイングが重なった場合は
両方のクリーニングが実行されます。