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ヤ マ ハ 発 動 機 株 式 会 社  I M 事 業 部     マ ウ ン タ ー 技 術 部  ソ フ ト 開 発 グ ル ー プ   MDOC-SOF T50071 - 5 -   [印刷] – [クリー ナ] タブの 「乾式自動間隔 (枚)」、「湿式自動間 隔(枚)」、「手動間隔(枚)」 に値を 入 力す れば 、詳 細 設 定の ク リ ー ニン グ と併 用す るこ とが で き ます 。 ただ…

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3.1 クリーニング詳細設定画面の設定項目
項目 初期値 入力範囲 内容
詳細自動間隔(枚) 0 0~9999 (基板枚数管理の場合のみ)
基板何枚毎にクリーニングを実行するかを設定しま
す。
「0」を設定すると、それ以降の基板枚数管理タブ
設定は無効となります。
クリーニングタイプ 乾式 乾式/
湿式/
なし
ーナガー
行します。
「湿式」:クリーナーガーゼに溶剤を染み込ませた状
態でクリーニングを実行します。
「なし」:この行以降のクリーニングは実行しません。
スピード(%) 100 1~100 クリーニング時にクリーニングユニットが移動する速
( [スピ
(mm/秒)] 項目と連動します)
スピード(mm/秒) 225 1~225 クリーニング時にクリーニングユニットが移動する速
( [スピ
(%/秒)] 項目と連動します)
吸引 使用 使用/
未使用
使用」リーングマスを吸なが
ーニングユニットが移動します。
「未使用」:クリーニング時、マスクを吸引せずにクリ
ーニングユニットが移動します。
[注意]
湿式クニンに吸引を使用と、した
の場、基板[Ea8816:データク警
告]を表示しますので、設定を変更してください。
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[印刷] – [クリーナ] タブの「乾式自動間隔(枚)」、「湿式自動間隔(枚)」、「手動間隔(枚)」に値を
力すれば、詳定のニンと併用することがますただ、各動間及び
間隔は以下の大小関係を満たすように設定してください。
乾式 < 湿式 < 基板枚数管 1< 基板枚数管理 2< 基板枚数管 3< 基板枚数管 4< 手動
基板枚数管理の複数のクリーニング実行タイミングが重なった場合、より間隔の大きいクリーニ
ングを先して実行ます。このとき、実行したクーニングより間隔の小さいクーニンのクリ
ーニングカウンタ 0 にクリアされます。(クリーニングカウンタの値は、[モニタ] – [カウンタ] タブ
で確認できます。図 3.2 参照)
例えば、「乾式自動間隔」を 2 枚、「基板枚数管 1」の「詳細自動間隔」を 3 、「基板枚数管理
2」の「詳細自動間隔」を 4 枚に設定した場合、表 3.2 のようにクリーニングが実行されます(括弧内
の数字は、クリーニングカウンタの値を表します)。
3.2 基板枚数管理クリーニングの実行例
基板
1 枚目
基板
2 枚目
基板
3 枚目
基板
4 枚目
基板
5 枚目
基板
6 枚目
基板
7 枚目
基板
8 枚目
乾式
クリーニング
(1)
実行
(2)
カウンタ
クリア
(0)
カウンタ
クリア
(0)
(1)
実行
(2)
カウンタ
クリア
(0)
カウンタ
クリア
(0)
詳細設定
基板枚数管理 1
クリーニング
(1)
(2)
実行
(3)
カウンタ
クリア
(0)
(1)
(2)
実行
(3)
カウンタ
クリア
(0)
詳細設定
基板枚数管理 2
クリーニング
始
(1)
(2)
(3)
実行
(4)
(1)
(2)
(3)
実行
(4)
なお、基板枚数管クリニングと時間管理クーニンの実行タイングが重なった場合は
両方のクリーニングが実行されます。
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図3.2[モニタ]-[カウンタ] タブ
3.2.
3.2.3.2.
3.2. 時間管理
時間管理時間管理
時間管理の
場合
場合場合
場合
[印刷] – [クリーナ] – [時間管理]で、「クリーニング方法」を「自動」、「自動クリーニングタイプ」
を「詳細」に設定し、クリーニングを実行する時間間隔を「間隔(分)」に入力します(図3.3)。
の後、「詳細定」ボンを下し、「クリーニグ詳設定」面を開き、「時間管タブ
各動作の「クリーニングタイプ」、「スピード」、「吸引」を設定してください(図3.4)。
なお、「詳細自動間隔」の項目はありませんので、設定は 1 種類のみ登録可能です。