JX-100_使用说明书.pdf - 第231页
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 1 ）请根据设备 正面的负压表，确 认真空泵运转时的 真空压。 * 没有进行真空运 作。 2 ）如果真空 表的数值 低于 -80kPa （绿 色区域） ， 请按 「 过滤器及叶片的 更换」 、 或「真空泵部 件的检查· 更换」 ， 检查·更换消 耗部件。 ※本内容 的适 用 对象 是 机器 Rev 为 JX - 100(Rev. B) 、 JX - 100LED(R ev.A) 以前的装置。 1 ）…
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
请确认各个插头的连接确实无误。（键盘、HOD 等）
检查项目
3-2-10 电缆、插头
实施频度 ：每天
检查内容 检查确认电缆、插头的连接情况
插入、拔出各个接头时，一定要切断电源后再进行。
危险
・绝对不要在不同电压规格下使用。
・接通电源时，请确认装置是处于安全状态下。
・接通电源时，请确认装置内部没有人在作业。
・接通电源时，请确认装置内部没有安装、或放置妨碍各种动作的
物体（调整工具等）。
・供气时，必须先切断电源。
注意
警告
为防止触电等重伤事故，请关闭总电源。
总电源开关是指安装在建筑物的电源开关，不是指主机上的开关。
USB
HOD
键盘
鼠标
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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
1
）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真空压。
* 没有进行真空运作。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检查·更换消耗部件。
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 JX-100(Rev.B)、JX-100LED(Rev.A)以前的装置。
1）确认真空泵没有运行， 或者是否运行后很快出现高温。
2）取下主机正面的盖子，拧松泵正面固定风扇组的 M4 螺丝，向前方卸下。
3）用 BOX 扳子拧松固定泵套的 4 处六角螺栓，把套子卸下来。
4）从凹处把过滤器卸下来，检查脏污程度。（太脏时要更换）
5）从旋转部槽拔出叶片后，进行更换。（1 套 8 枚）
※叶片的方向请参见下图。
6）按上述逆顺序进行安装。
7）请确认再运转后没有异常声响，负压表数值高于-80kPa。
・叶片的安装方向
检查项
目
3-2-11 真空泵（选购项）
实施频度 ：参见下面
检查内容 检查压力
更换 过滤器及叶片的更换①
使用工具 ：
六角扳手、BOX 板子
更换频度 ：
1.5 年
叶片（×８）
（40061995
）
过滤器
（40061996
）
真空泵
M4 螺栓
过滤器（40061996）
叶片（×8）
（40061995）
风扇组
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第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 JX-100(Rev.C)、LX-100LED(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。松开固定①Dust cover FL 和②Face BR 的③六角凹头螺栓 (M4×8)、取下
①Dust cover FL 和②Face BR。
3) 拆下连接真空泵的气管、再拆下线綑(电源、地线)④、把固定⑤VAC_PUMP_PLATE 的⑥六角凹头螺栓
(M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
更换 过滤器及
叶片的更换②
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
④
⑤
⑥
①
③
③
②
③
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