JX-100_使用说明书.pdf - 第387页
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 ④ 请选择标记的形状。 标记的形状将被自动判别。判别结果有误 时，请用 HO D 的 ↑ 键、 ↓ 键 (X 、 Y 移动上下箭头键 ) 选择正确的标记 。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 请进行检出框的示教 。 完成④的操作后 ， 画面中心 ( 默认窗口 ) 会自动显示 标记尺寸 1.5 倍的标记。 …
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮，
设置照明条件
。
请在指定测定框的左上方前，先设置照明条件。
图 4-5-2-11-2 设置照明条件（面板）
图 4-5-2-11-3 设置照明条件（HOD）
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明类型。
图 4-5-2-11-4 设置照明类型
·按<应用>按钮可确认所设定的光量下的图像。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明类型，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下 HOD 的 NEXT 键即可
略过③的操作。
但在这种情况下，重新识别标记时，NEXT 键无效。
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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)
选择正确的标记。
[＊]
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检出框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检出框时，
请执行④的步骤。
在此，如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键，可返回检出框的示教(③的操作)。
按与刻度框同样的方式来设定检测框。设定的方
法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
当标记识别不稳定时，请按下照明条件设置按钮，
设置照明条件
。
请在指定测定框的左上方前，设置照明条件。
图 4-5-2-12-2 设置照明条件（面板）
图4-5-2-12-3 设置照明条件（HOD）
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明类型。
图 4-5-2-12-4 设置照明类型
·可按<应用>按钮确认所设定光量下的图像。
※ 设置照明类型，选择用户定义时，一般设置在50～200之间。设置50 以下时，
有时光量不稳定。
与标记相关的信息相同，仅需要对检出框进行重新示教时，按下HOD的NEXT键，即可
略过③的操作。
但在这种情况下，重新识别标记时，NEXT 键无效。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片
在标记上有阻剂/保护胶片，标准照明时标记反射不佳，识
别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
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