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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 请进行 刻度框 ( 模板 设定框 ) 的示教。 按上下左右箭头键 ( 使用 FA ST 键可加速检测框的移动 速度 ) ，调整上、左 、下、右（ 按顺序 输入），设置检 测框。 此时， 自动对标记进行 识别 ，并获的校正 所需的数据。 ********** ********** 显示摄象机图形和 长方形的框。 PAD 印 刷部分。 首先设定上面及左 面的刻度框。 设定想识别的上面 及左面 (…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设置按钮，设置照明图案。
请在指定测定框的左上方前，设置照明图案。
图 4.5.2.3.2-2 设置照明条件
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明类型。
图 4.5.2.3.2-3 设置照明图案
·可按<应用>按钮确认所设定光量下的图像。
设置照明条件，选择用户定义时，一般设置在50～200之间。设置50 以下时，
有时光量不稳定。
与标记相关的信息相同，仅需要对检测框进行重新示教时，按下 HOD 的 NEXT
键，
即可略过③的操作。
此时，重新识别标记时，NEXT 键无效。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片的图案
照明
在标记上有阻剂/保护胶片，标准照明时标记反射不佳，识
别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
请进行刻度框(模板设定框)的示教。
按上下左右箭头键(使用FAST键可加速检测框的移动速度)
，调整上、左、下、右（按顺序
输入），设置检测框。
此时，自动对标记进行识别，并获的校正所需的数据。
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显示摄象机图形和长方形的框。
PAD 印刷部分。
首先设定上面及左面的刻度框。
设定想识别的上面及左面(移动箭头部分的边)。
设定完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示“Set Left-Top Point”。
以同样的方式设定下面及右面的刻度框。
调整完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示“Set Right-Bottom Point”。
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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
然后，设置标记判定，选择PR。
*请将标记对准PR的位置(HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键))，然后按下ENTER键。
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[ *]ＰＲ
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刻度框的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。当刻度框过大时，会显
示错误并返回③。
进行模板画面重心示教。
请进行检测框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。
要改变检测框时，请执行③的步骤。
在画面中显示刻度框和十字光标。
用“HOD”移动十字光标，决定模板的重心(该位置与
基板数据的标记坐标一致)。
画面下方显示“TempMatch－Set Center”。
画面下方显示“Select Mark
by Up or Down Key”。
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