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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 141 面補正ジグ: NPM-W XY Plane Calibration J ig:NPM -W ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品 番 数量 R 2 パーツリスト Kit No. キット品番 Kit Nam e キット名称 N610124226AB Part Nam e 備 考 セクションN o. PARTS LIST Section No. R 3 PLAT…
141
面補正ジグ:NPM-W
XY Plane Calibration Jig:NPM-W
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610124226AB
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O403
( KN610124226AB-00 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
141
面補正ジグ:NPM-W
XY Plane Calibration Jig:NPM-W
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品 番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610124226AB
Part Name
備 考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
1
1 N210147296AC
CASE
1
2 N510059877AA PJC-03B
O404
--
( KN610124226AB-00 )
142-A
精度検証用ジグキット:NPM
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610146224AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O405
( KN610146224AA-00-1 )