N7201A573C.pdf - 第6页
SP 简易支撑销 简易支撑销 支撑销的安装 3 17 18 向下按压设置托板后，取出 5 19 SERVO ON 20 21 22 ( 至基板搬送确认步骤 ) ●无需确认搬送时，按 [ 中断 ] 确认提示信息 确认提示信息 从 起
SP 简易支撑销
支撑销的安装 2
简易支撑销
10
9
从
SERVO
ON
11 12
(仅限SP18、
SP70时)
13
(传送带的宽度变宽)
OFF
SERVO
14
15
16
从基座单元上取下
设置托板
18
至
4
17
翻转设置托板后，安装到基板定位升降机上
●向设置托板的定位孔插进定
位销(2处)
确认提示信息
起
SP 简易支撑销
简易支撑销
支撑销的安装 3
17
18
向下按压设置托板后，取出
5
19
SERVO
ON
20 21
22
(至基板搬送确认步骤)
●无需确认搬送时，按
[中断]
确认提示信息
确认提示信息
从
起
SP 简易支撑销
简易支撑销
基板搬送确认 1
画面说明
6
各传送带的显示
基板位置
●等待搬入: 绿色闪烁
●载有基板: 绿色亮灯
■决定基板的位置时
■解除基板夹具时
■调整传送带的流动时
+
+
■支架复位到原点时
+
●切换旋转方向时
●传送带流动时
●停止传送带
/
+
+
■拔出基板
+