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SP 简易支撑销 简易支撑销 基板搬送确认 1 画面说明 6 各传送带的显示 基板位置 ●等待搬入 : 绿色闪烁 ●载有基板 : 绿色亮灯 ■ 决定基板的位置时 ■ 解除基板夹具时 ■ 调整传送带的流动时 + + ■ 支架复位到原点时 + ● 切换旋转方向时 ● 传送带流动时 ● 停止传送带 / + + ■ 拔出基板 +
SP 简易支撑销
简易支撑销
支撑销的安装 3
17
18
向下按压设置托板后，取出
5
19
SERVO
ON
20 21
22
(至基板搬送确认步骤)
●无需确认搬送时，按
[中断]
确认提示信息
确认提示信息
从
起
SP 简易支撑销
简易支撑销
基板搬送确认 1
画面说明
6
各传送带的显示
基板位置
●等待搬入: 绿色闪烁
●载有基板: 绿色亮灯
■决定基板的位置时
■解除基板夹具时
■调整传送带的流动时
+
+
■支架复位到原点时
+
●切换旋转方向时
●传送带流动时
●停止传送带
/
+
+
■拔出基板
+
SP 简易支撑销
7
简易支撑销
基板搬送确认 2
画面操作
1
2
3
4
5
准备:
●确认传送带上没有基板。
●确认控制开关是否处于“ON”的状态。
+
+
+
●重复同样的操作而引起基板传送错误时,
按紧急停止开关,卸下基板。
结束
(基板被传送到基板支架)
(搬入基板)
(基板被传送到右边的传送带)
(搬出基板时)
■确认从搬入到搬出的整体过程时
+
1 2 3 4
5