FX3_MSP_Rev1.0_C.pdf - 第45页
Rev1.00 MS 参数 3-15 ② 从 “ 选择设备 ” 中，选择要调整的设备。 ③ 选择设备的设置结束后，按下 “ 确认 ” 按钮。 为了确认校准台上没有模具，进 行 Head 退避。 ④ 请确认校准台上没有模具。 进行第 1 标记识别，如果未发生识 别错误，则移动到第 2 标记的位置。 以 OCC 识别校准台的第 1 标记，显示 取得的坐标。再向校准台的第 2 标记位置移动，进行识别。 ⑤ 利用示教调整位置，按下 “ 确认 ”…
Rev1.00
MS 参数
3-14
3-4 校准台偏移量
“校准台”是作为各Head单元（台车）之高度基准的装置。校准台偏移量就是取得这一装置的装配
位置以及装配误差。
请将校准台和校准片擦拭干净之后再进行这一调整。
3-4-1 功能
计测校准台之第1标记及第2标记的位置，算出2个标记的中心位置。
3-4-2 使用模具
本项目中不使用模具。
3-4-3 操作
① 从菜单中选择“偏移量设置（O）”－“校准台偏移量（C）”，会显示以下对话框。
Rev1.00
MS 参数
3-15
② 从“选择设备”中，选择要调整的设备。
③ 选择设备的设置结束后，按下“确认”按钮。
为了确认校准台上没有模具，进行Head退避。
④ 请确认校准台上没有模具。
进行第1标记识别，如果未发生识别错误，则移动到第2标记的位置。
以OCC识别校准台的第1标记，显示取得的坐标。再向校准台的第2标记位置移动，进行识别。
⑤ 利用示教调整位置，按下“确认”，即在所示教的位置上识别第2标记，取得坐标。
Rev1.00
MS 参数
3-16
⑥ 设置结束，按下“确认”，返回初始画面，或者如有尚未设置的设备则继续进行设置。
并且，为了确认未设置设备的校准台上有无模具，进行Head退避。
3-4-4 MSP容许值
MSP值不良时 No. 项目 MSP容许值
出现的问题 检测（更换）项目
X ±0.025mm 1 装配精度
Y ±0.025mm
校准台之第1、2标记附近的表面
状态（伤痕、污染等）。
2 装配角度 A ±0.1°
在校准台上自动置放校准片所
取得的Head偏移量等MSP值
受到不良影响。
校准台的装配精度