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Rev1.00 MS 参数 5-5 ② 从 “ 选择设备 ” 中选择要调整的真空校准。 ③ 选择要调整的设备后， 按下 “ 操作 ” 框内的 “ 确认 ” 按钮。 “确认” 按钮被 按下后， OCC 向真空校 准位置移动。 ④ 利用示教设定真空校准的位置， 按下 “ 确认 ” 按钮后，真空 校准的位置被更新。 ⑤ 调整结束后，将显示以下的操作 内容。选择“确认”，即返还初始 画面。
Rev1.00
MS 参数
5-4
5-2 VAC-CAL偏移量（真空校准偏移量）
5-2-1 功能
进行VAC-CAL（真空校准）装配位置的设置。
5-2-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-2-3 操作
① 从菜单中选择“调整确认（C）”－“真空-校准偏移量（V）”，会显示以下对话框。
Rev1.00
MS 参数
5-5
② 从“选择设备”中选择要调整的真空校准。
③ 选择要调整的设备后，按下“操作”框内的“确认”按钮。“确认”按钮被按下后，OCC向真空校
准位置移动。
④ 利用示教设定真空校准的位置，按下“确认”按钮后，真空校准的位置被更新。
⑤ 调整结束后，将显示以下的操作内容。选择“确认”，即返还初始画面。
Rev1.00
MS 参数
5-6
5-3 真空校准
5-3-1 功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故障解
析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
5-3-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-3-3 操作
① 从MS参数菜单中选择“调整确认（C）”－“真空校准（U）”，会显示以下对话框。