HT121 (Mechanical20111025).pdf - 第63页

PART No. ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART NAME REMARKS Q'TY 3 X-Yﾃｰﾌﾞﾙ 部(基板搬送部 1) X-Y TABLE S ECT.(P.C.B.TRA NSFER SECT.- 1) 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 1081104100 P.C BOARD TRA NSFER UNIT ｷﾊﾞ ﾝﾊﾝｿｳﾕﾆｯﾄ 1 102 108110410204 RAIL(…

100%1 / 220
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板搬送部1)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.-1)
3
F10811-04-100-AK-1
M41
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
　　　
　　　　　　　　　 PART NAME
　　　 REMARKS　
Q'TY
3
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板搬送部1)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.-1)
部 品 名 品　 番 個数
備 考
R
1
R
2
1 1081104100
P.C BOARD TRANSFER UNIT ｷﾊﾞ
ﾝﾊﾝｿｳﾕﾆｯﾄ
1
102 108110410204
RAIL(UPPER) ﾚｰﾙ(ｱｯﾊﾟｰ)
1
103 108110410301
GUIDE ｶﾞｲﾄﾞ
1107 108110410704
RAIL ﾚｰﾙ
5109 104674816001
SPRING ﾊ
ﾞﾈ
2
110 1081104110
LINEAR MOTION UNIT ﾘﾆｱﾓｰｼｮﾝﾕﾆｯﾄ
2
111 108110411101
BLOCK ﾌﾞﾛｯｸ
1112 108110411201
PIN ﾋ
ﾟﾝ
2114 108110411401
CUSHION ｸｯｼｮﾝ
1
115 108110411504
RAIL(MAIN) ﾚｰﾙ(ﾒｲﾝ)
1117 1081104117
BLOCK ﾌﾞﾛｯｸ
1119 1081104119
TARGET ﾀｰｹ
ﾞｯﾄ
1
120 108110412001
COLLAR ｶﾗｰ
SP4X8,BN1206-1.0
7
N101
N986YYYY-764
BOLT ﾎﾞﾙﾄ(ｺﾞｸﾃｲﾄｳﾛｯｶｸｱﾅﾂｷ)
M3X6
2
N102
N986YYYY-779
BOLT ﾎﾞﾙﾄ
MB022000
3
N103
N648MB022000
PULLEY ﾌ
ﾟｰﾘｰ
WL4-15
2
N104
N986WL415
SPRING ﾊﾞﾈ
TA-4NBR/F4.5WX1100
1
N106
N641TA4N1100
BELT ﾍﾞﾙﾄ
M42
F10811-04-100-AK-1
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板搬送部2)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.-2)
3
F10811-04-100-AK-2
M43