HT121 (Mechanical20111025).pdf - 第93页
PART No. ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART NAME REMARKS Q'TY 4 基板搬送部( ﾛｰﾀﾞ・ｱﾝﾛｰﾀﾞ 部4) P.C.B.TRANS FER SECT.(LOAD ER & UNLOADE R SECT.-4) 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 202 108110520201 BASE ﾍ ﾞｰｽ 2 214 108110521401 COLLAR ｶﾗｰ 2…
基板搬送部(ﾛｰﾀﾞ・ｱﾝﾛｰﾀﾞ部4)
P.C.B.TRANSFER SECT.(LOADER & UNLOADER SECT.-4)
4
F10811-05-200-AK-4
M71
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
PART NAME
REMARKS
Q'TY
4
基板搬送部(ﾛｰﾀﾞ・ｱﾝﾛｰﾀﾞ部4)
P.C.B.TRANSFER SECT.(LOADER & UNLOADER SECT.-4)
部 品 名 品 番 個数
備 考
R
1
R
2
1202 108110520201
BASE ﾍ
ﾞｰｽ
2
214 108110521401
COLLAR ｶﾗｰ
2
215 108110521502
COLLAR ｶﾗｰ
2217 108110521702
SPRING ﾊ
ﾞﾈ
2218 108110521801
COLLAR ｶﾗｰ
2
219 108110521901
SPRING ﾊﾞﾈ
2
237 108110523703
BALL SPLINE ﾎﾞｰﾙｽﾌﾟﾗｲﾝ
2239 1081105239
COLLAR ｶﾗｰ
2240 108117845001
COLLAR ｶﾗｰ
2
241 1081105241
SPRING ﾊﾞﾈ
MGF40-50-Z73
1
N201
N401MGF4-J06
TABLE ﾃｰﾌﾞﾙ
UST12-60
2
N214
N986UST1260
BOLT ﾎ
ﾞﾙﾄ
KQ2L06-01S
2
N229
N431KQ2L-216
FITTING ﾂｷﾞﾃ
M72
F10811-05-200-AK-4
基板搬送部(ﾛｰﾀﾞ・ｱﾝﾛｰﾀﾞ部5)
P.C.B.TRANSFER SECT.(LOADER & UNLOADER SECT.-5)
4
F10811-05-200-AK-5
M73