HT121 (Mechanical20111025).pdf - 第65页

PART No. ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART NAME REMARKS Q'TY 3 X-Yﾃｰﾌﾞﾙ 部(基板搬送部 2) X-Y TABLE S ECT.(P.C.B.TRA NSFER SECT.- 2) 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 104 108110410401 RAIL(UPPER) ﾚｰﾙ (ｱｯﾊﾟｰ) 1 105 108110410501 GUIDE ｶﾞｲﾄﾞ 1 …

100%1 / 220
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板搬送部2)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.-2)
3
F10811-04-100-AK-2
M43
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
　　　
　　　　　　　　　 PART NAME
　　　 REMARKS　
Q'TY
3
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板搬送部2)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.-2)
部 品 名 品　 番 個数
備 考
R
1
R
2
1104 108110410401
RAIL(UPPER) ﾚｰﾙ
(ｱｯﾊﾟｰ)
1
105 108110410501
GUIDE ｶﾞｲﾄﾞ
1
108 108110410804
RAIL ﾚｰﾙ
6109 104674816001
SPRING ﾊ
ﾞﾈ
2110 1081104110
LINEAR MOTION UNIT ﾘﾆｱﾓｰｼｮﾝﾕﾆｯﾄ
2
111 108110411101
BLOCK ﾌﾞﾛｯｸ
1
112 108110411201
PIN ﾋﾟﾝ
2114 108110411401
CUSHION ｸｯｼｮﾝ
1116 1081104116
RAIL(MAIN) ﾚｰﾙ(
ﾒｲﾝ)
1
118 1081104118
BLOCK ﾌﾞﾛｯｸ
SP4X8,BN1206-1.0
6
N101
N986YYYY-764
BOLT ﾎﾞﾙﾄ(ｺﾞｸﾃｲﾄｳﾛｯｶｸｱﾅﾂｷ)
M3X6
2
N102
N986YYYY-779
BOLT ﾎ
ﾞﾙﾄ
MB022000
3
N103
N648MB022000
PULLEY ﾌﾟｰﾘｰ
WL4-15
2
N104
N986WL415
SPRING ﾊﾞﾈ
TA-4NBR/F4.5WX1100
1
N106
N641TA4N1100
BELT ﾍﾞﾙﾄ
M44
F10811-04-100-AK-2
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板ｻﾎﾟｰﾄﾌﾟﾚｰﾄ部)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.SUPPORT PLATE SECT.)
3
F10811-04-200-AD
M45