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MS 参数 10 -1 简易控制 10 -1 MSP 选项 卡 可进行指定设备 的原点返 回、 主电路电源 （伺服） 的 ON /OFF 、 校 准台真空 ON/OFF 、 吸嘴上升 气缸控制、 VCS 气缸控制、 VCS 照明高度控制 。
MS
参数
9-6
正常结束后，会显示以下的对话框信息，故请切断电源后重新启动，以确认是否已变成所转送
的版本。
MS
参数
10-1
简易控制
10-1 MSP 选项卡
可进行指定设备的原点返回、主电路电源（伺服）的ON/OFF、校准台真空ON/OFF、吸嘴上升
气缸控制、VCS气缸控制、VCS照明高度控制。
MS
参数
10-2
10-1-1 原点返回
可进行全轴原点返回、XY轴、Z轴（指定设备的所有Head）、θ轴（指定设备的所有Head）、
ZA轴、支撑台、AWC、无输送原点返回。
10-1-2 主电路电源
可进行主电路电源的ON、OFF控制。
10-1-3 校准台真空
可进行校准台真空的ON、OFF控制。
10-1-4 吸嘴上升气缸
在伺服OFF的状态下按下<ON><OFF><ON/OFF>，即执行控制。
在伺服ON的状态下不能执行吸嘴上升气缸控制。