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MS 参数 7-6 请将裸芯片装在裸芯片平台上，利用示教来调整元件的中心位置。

MS

参数

7-5

7-3 裸芯片平台偏移量

7-3-1 功能

设置裸芯片平台的位置。

7-3-2 使用模具

• 3.7 DUMMY WAFER（40035043）

(裸芯片)

7-3-3 操作

从菜单中选择“单元参数”－“空站台偏移量”后，会显示以下对话框。

“示教选择”项目中，选择要调整的项目。

目前仅调整XY。

MS

参数

7-6

请将裸芯片装在裸芯片平台上，利用示教来调整元件的中心位置。

MS

参数

7-7

7-4 R-ATC 偏移

7-4-1 功能

设置R-ATC的组装位置和组装高度

7-4-2 使用夹具

• R-ATC 夹具板（40211951）

7-4-3 操作

从菜单中选择“单位参数”－“R-ATC偏移量”后，会显示以下对话框。