CX-1_机器控制参数.pdf - 第109页
R e v 2 . 0 0 机器控制参数 4-67 4-4-12 MNVC FCS 用控制参数 图 4-4-12 MNVC FCS 用控制参数 (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 画像 ]→[MNVC]→[FCS 用控制参数 ] 起动∶ [ 画像 ] 按钮 →[MNVC]Tab→[FCS 用控制参数 ] 按钮 (2) 设定项目 输入范围 № 项目 最小值 最大值 单 位 备考 1 数据有效 / 无效 0: 无效 1: …
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机器控制参数
4-66
4-4-11 MNVC 元件控制参数
图 4-4-11 MNVC 元件控制参数
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[MNVC]→[元件控制参数]
起动∶[画像]按钮→[MNVC]Tab→[元件控制参数]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1
数据有效/无效
0:无效
1:有效
2
纵长姿势控制最小长边尺
寸法(长边为该值以上时控
制纵长)
0.1
μm
初期值：200100
3
适用最大长边尺寸
0.1
μm
初期值：265099
4
元件控制参数
最大对角尺寸
0.1
μm
初期值：307000
注) 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
Rev2.00
机器控制参数
4-67
4-4-12 MNVC FCS用控制参数
图 4-4-12 MNVC FCS 用控制参数
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[MNVC]→[FCS 用控制参数]
起动∶[画像]按钮→[MNVC]Tab→[FCS 用控制参数]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 数据有效/无效
0:无效
1:有效
2 标记形状 0:圆形
3 极性
0:正转
1:反转
4
FCS 用元件侧标记
控制参数
标记尺寸
0.1
μm
初期值：40000
注) 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
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机器控制参数
4-68
4-4-13 设置OCC坏板标记
图 4-4-13 设置 OCC 坏板标记
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[设置]→[设置 OCC 坏板标记]
起动∶[画像]按钮→[设置]Tab→[设置 OCC 坏板标记]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 对比度图案 0 19
2 最大值
3 最小值