FX3_MaintenanceManual_Rev1_C.pdf - 第32页
Rev1.00 维修调整要领书 3-3 3-3 ． 坏标记传感器的更换 3-3-1 ． 传感器部 1 ） 拆下 ① 带垫片内六角螺钉（× 2 ）、 BM 镜头支架 A （ B ） 。（图为 BM 镜头支架 A （ LF 、 RR 贴装头 用） 2 ） 先拆下 ② 螺母、 ③ 垫圈、 ④ 螺母，再拆下 ⑤ 镜头。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 BM 镜头支架 B （ LR 、 RF 贴装头用）也同样进行。 ② 螺母 ③ 垫圈 ④ 螺母…
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3-2
3-2． 过滤器的更换
降低主体的原压力，进行更换。
• 贴装头过滤器的更换
1） 先拆卸① cap（×2）、② cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
图 3-2 过滤器的更换
• 电磁阀大气开放用过滤器的更换
1） 先拆卸③带垫片内六角螺钉（×2）再拆卸 SV 保护罩。
2） 拧松④螺钉（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松螺钉就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
① cap（×2）
② cap（×2）
③带垫片内六角螺钉
（×2）
④带垫片内六角螺钉
（×2）
贴装头过滤器
大气开放用过滤器
紧固扭矩：
0.6N·m
紧固扭矩：
0.9N·m
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3-3
3-3． 坏标记传感器的更换
3-3-1． 传感器部
1） 拆下①带垫片内六角螺钉（×2）、BM 镜头支架 A（B）。（图为 BM 镜头支架 A（LF、RR 贴装头
用）
2） 先拆下②螺母、③垫圈、④螺母，再拆下⑤镜头。
3） 装配请按相反的步骤进行。
BM 镜头支架 B（LR、RF 贴装头用）也同样进行。
②螺母
③垫圈
④螺母
⑤镜头
① 带垫片内六角
螺钉（×2）
BM 镜头支架 A（B）
7mm
图 3-3-1 BM 镜头更换
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3-4
3-3-2． 传感器高度的调整
把坏标记传感器向 CAL 部上移动，把坏标记传感器面和 CAL
部上面的距离调整为 28 0
+05
mm，拧松 cap（2 处），移动 BM
镜头架，调整到规定值。
调整后，请用带垫片内六角螺钉固定好。
安装后，输入 MS 参数中的坏板标记传感器偏差。
（输入请参照 MS 参数。）
图 3-3-2 镜头的调整
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，也不
要将脸和头部靠近机器。
3-3-3． 放大器部
1） 把放大器部分一边往下按一边往面前拉拆卸放大器部分。（图为 LF、RR 贴装头）
2） 装配请按相反的步骤进行。
LR、RF 贴装头也同样进行。
图 3-3-3 放大器的安装
CALﾌﾞﾛｯｸ
上面
BM 镜头架
带垫片内六角螺钉
CAL 部
上部
放大器