FX3_MaintenanceManual_Rev1_C.pdf - 第77页

Rev1.00 维修调整要领书 9-5 ＜设置步骤＞ ① 请持续按『 SET 』按钮 2 秒钟以上。显示变成右图所示，变为显示色设置方式。 ② 请按『 △ 』或『 ▽ 』按钮，假定显示为右图，按『 SET 』按钮。于是被设置为『 SWON 时绿色显示』。 ③ 请确认显示已为右图，按『 SET 』按钮。被设置为『磁滞方式』。 ④ 请确认显示已为右图，按『 SET 』按钮。被设置为『正规开动作』。 ⑤ 请确认显示已为『 2 . 5 』…

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9-4

9-3．数字压力开关（负压）的更换

1）请确认真空泵未在运行。

2）拆下螺钉两处取下保护罩 FSB_A（开闭保护罩），

请打开。

3）从数字压力开关上拆下φ6 气管和连接器。

4）旋转供料器开关支架 C 背面的树脂部件，卸下数字

压力开关。

5）装配时请按照相反的顺序进行。

9-3-1．数字压力开关（负压）的调整

更换数字压力开关后，请进行以下设置。

压力开关阈值：0.400MPa

磁滞差动：5.000MPa

显示色方式：压力开关 ON 时为绿色

动作方式：磁滞方式

压力开关输出形态：正规开（超过阈值则 ON）

响应时间：2.5ms 以下

自动预调设置：手动设置

设置按下述步骤进行。

树脂固定座

供料器开关支架C

数字压力开关

正面側

护罩SB_A

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9-5

＜设置步骤＞

① 请持续按『SET』按钮 2 秒钟以上。显示变成右图所示，变为显示色设置方式。

② 请按『△』或『▽』按钮，假定显示为右图，按『SET』按钮。于是被设置为『SWON 时

绿色显示』。

③ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『磁滞方式』。

④ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『正规开动作』。

⑤ 请确认显示已为『 2.5』，按『SET』按钮。被设置为『响应时间 2.5ms 以下』。

⑥ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『手动设置方式』。

⑦ 在此，显示指示数字，回到测定方式。

⑧ 请在测定方式的状态下按『SET』按钮。『 P

1』与数字被交替显示。

⑨ 在此，请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。

⑩ 请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为数字的最后一位，按『SET』按钮。其前面一位

闪烁。

请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。再移前一位闪烁。

请按『△』或『▽』按钮，以『4』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。最前面一位闪烁。

请按『△』或『▽』按钮，使在闪烁的位变成右图所示，再按『SET』按钮。『阈值 0.400MPa』

『 H』与数字被交替显示，故请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。

请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为最后一位，再按『SET』按钮。其前面一位闪烁。

请按『△』或『▽』按钮，以『5』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。再移前一位闪烁。

请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。最前面一位闪烁。

『▽』按钮

『SET』按钮

LCD显示

『△』按钮

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9-6

9-4．真空泵零件的更换

从使用开始每 3000 小时都要对表 1 的消耗零件进行定期点检，如果有异常发生，请参照下列顺序进行

更换、清洁。

表 1 消耗零件一览

点检位置使用数量点检内容点检方法

吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无目视

吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无目视

排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无目视

皮碗式密封件 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无目视

垫圈 4 变形、硬化、龟裂等的有无目视

吸气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无目视

尼龙软管 4 变形、硬化、龟裂等的有无目视

消音器 1 变形、硬化、龟裂等的有无目视

○更换准备

1）请确认①真空泵没有运转。

（因为稍微运转后就会变热所以请注意。）

2）请打开后侧正面的开闭保护罩。

3）取下与真空泵相连接的空气软管，用六角扳手拆下②的泵

支撑装置。

4）把真空泵从主体中拆卸下来。（拆卸的时候要注意扎线。）

5）打开端子箱保护罩，去除连接到端子台上的配线。

6）用对边 5mm 的六角扳手拧松固定手柄的带六角孔

螺钉 M6×L16。

7）去除手柄和板。

8）将泵朝着纵向以便更换的贴装头向上来。

①

②

5）去除配线

6）拧松7）螺钉