FX3_MaintenanceManual_Rev1_C.pdf - 第79页
Rev1.00 维修调整要领书 9-7 ○贴装头保护罩的拆卸 1 ) 用六角扳手拧松固定贴装头保护罩的4根带六角孔螺钉 M6 × L30 取下带六角孔螺钉。 2 ) 用两手把接头按在身前,从连接软管中拔出。此时,将左右的接头一点一点交互拔出。 3 ) 拔出连接软管拆下贴装头保护罩。 ○汽缸的拆卸 1 ) 在拆卸汽缸之前先在盖子和汽缸上用油性笔做上标注。 2 ) 带上手套,然后把叶片往上旋转。(此时,一定要带手套) 3 ) 把汽缸从上面取…

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9-6
9-4. 真空泵零件的更换
从使用开始每 3000 小时都要对表 1 的消耗零件进行定期点检,如果有异常发生,请参照下列顺序进行
更换、清洁。
表 1 消耗零件一览
点检位置 使用数量 点检内容 点检方法
吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视
排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
皮碗式密封件 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
垫圈 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
吸气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
尼龙软管 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
消音器 1 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
○更换准备
1) 请确认①真空泵没有运转。
(因为稍微运转后就会变热所以请注意。)
2) 请打开后侧正面的开闭保护罩。
3) 取下与真空泵相连接的空气软管,用六角扳手拆下②的泵
支撑装置。
4) 把真空泵从主体中拆卸下来。(拆卸的时候要注意扎线。)
5) 打开端子箱保护罩,去除连接到端子台上的配线。
6) 用对边 5mm 的六角扳手拧松固定手柄的带六角孔
螺钉 M6×L16。
7) 去除手柄和板。
8) 将泵朝着纵向以便更换的贴装头向上来。
①
②
5) 去除配线
6) 拧松7)螺钉

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9-7
○贴装头保护罩的拆卸
1) 用六角扳手拧松固定贴装头保护罩的4根带六角孔螺钉 M6×L30 取下带六角孔螺钉。
2) 用两手把接头按在身前,从连接软管中拔出。此时,将左右的接头一点一点交互拔出。
3) 拔出连接软管拆下贴装头保护罩。
○汽缸的拆卸
1) 在拆卸汽缸之前先在盖子和汽缸上用油性笔做上标注。
2) 带上手套,然后把叶片往上旋转。(此时,一定要带手套)
3) 把汽缸从上面取出。
○压板、皮碗式密封件、吸气阀防止干涉橡胶的拆卸
1) 对照叶片标记部用油性笔对压板做标注。
2) 拧松压板的4根圆形小螺钉。
3) 拆卸压板以及皮碗式密封件。
4) 拆卸结束。
1) 拧松螺钉。
2) 用两手把接头按在身前。
3) 拆下贴装头保护罩。
1) 标注。
3) 从上面取出。
2) 向上旋转叶片。
2) 圆形小螺钉。
1) 标注。
3) 拆卸压板以及皮
碗式密封件。

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9-8
○汽缸详细零件拆卸、更换。
1) 拧松排气阀压板、固定用 M3×L5 的圆头小螺钉。
2) 取下排气阀压板、排气阀倒挡器、排气阀。
3) 拧松吸气阀压板、固定用 M3×L5 的圆头小螺钉。
4) 取下吸气阀压板、吸气阀倒挡器、排气阀。
5) 拆下贴装头保护罩的垫圈,把贴装头保护罩清洗干净。洗干净后用气吹,换上新的垫圈。
6) 用棉纱布取清洗液,对汽缸整体进行好好地脱脂。
7) 进行各消耗零件的更换,一边对照着标注一边按找相反的顺序进行安装。
(M6 的螺钉是用 8N·m 拧紧。)
1)、2)拧松螺钉,去除掉。
3)、4)拧松螺钉,去除掉。
E
F
B
C
D
A
A;吸气阀
B;排气阀
C;排气阀倒挡器
D;吸气阀倒挡器
E;吸气阀防止干涉橡胶
F;垫圈
3)拧松螺钉,去除掉。