FX3_MaintenanceManual_Rev1_C.pdf - 第75页
Rev1.00 维修调整要领书 9-3 9-2 ． 滤清器的更换 1 ） 以便把滑动部下降，以便把主体向左或右转动 ４５ 度然后拔下来三 。 2 ） 更换空气滤清器侧的滤清器 Ｂ 时，向左转动固定滤清器 Ｂ 的树脂零件就可以卸下来 。 3 ） 更换微喷雾器侧的滤清器时，把滤清器向左转动就可以卸下来 。 4 ） 安装时，请按照相反的程序进行 。 注 ) 作业之前，请关闭蝶阀。 滤清器的寿命为 2 年或压力下降到 0.1MPa (1kgf/…
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9-2
＜设置步骤＞
① 请持续按『SET』按钮 2 秒钟以上。显示变成右图所示，变为显示色设置方式。
② 请按『△』或『▽』按钮，假定显示为右图，按『SET』按钮。于是被设置为『SWON 时
绿色显示』。
③ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『磁滞方式』。
④ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『正规开动作』。
⑤ 请确认显示已为『 2.5』，按『SET』按钮。被设置为『响应时间 2.5ms 以下』。
⑥ 请确认显示已为右图，按『SET』按钮。被设置为『手动设置方式』。
⑦ 在此，显示指示数字，回到测定方式。
⑧ 请在测定方式的状态下按『SET』按钮。『 P
1』与数字被交替显示。
⑨ 在此，请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。
⑩ 请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为数字的最后一位，按『SET』按钮。其前面一位
闪烁。
11
请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。再移前一位闪烁。
12
请按『△』或『▽』按钮，以『4』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。最前面一位闪烁。
13
请按『△』或『▽』按钮，使在闪烁的位变成右图所示，再按『SET』按钮。『阈值 0.400MPa』
14
『 H』与数字被交替显示，故请按『△』或『▽』按钮。数字的最后一位闪烁。
15
请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为最后一位，再按『SET』按钮。其前面一位闪烁。
16
请按『△』或『▽』按钮，以『5』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。再移前一位闪烁。
17
请按『△』或『▽』按钮，以『0』作为在闪烁的位，按『SET』按钮。最前面一位闪烁。
18
请按『△』或『▽』按钮，使在闪烁的位变成右图所示，再按『SET』按钮。『磁滞 0.050MPa』
19
在此，已回到测定方式。设置到此结束。
20
如果在各设置中显示与右图不一样，请按『△』或『▽』按钮来切换显示，设置为指定的
显示值。
『▽』按钮
『SET』按钮
LCD显示
『△』按钮
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9-2． 滤清器的更换
1） 以便把滑动部下降，以便把主体向左或右转动４５度然后拔下来三。
2） 更换空气滤清器侧的滤清器Ｂ时，向左转动固定滤清器Ｂ的树脂零件就可以卸下来。
3） 更换微喷雾器侧的滤清器时，把滤清器向左转动就可以卸下来。
4） 安装时，请按照相反的程序进行。
注) 作业之前，请关闭蝶阀。
滤清器的寿命为 2 年或压力下降到 0.1MPa (1kgf/cm
2
) 后。
图 9-2-1 滤清器
空气滤清器
微喷雾器
滤清器B
滤清器
树脂零件
滑动部
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9-3． 数字压力开关（负压）的更换
1） 请确认真空泵未在运行。
2） 拆下螺钉两处取下保护罩 FSB_A（开闭保护罩），
请打开。
3） 从数字压力开关上拆下φ6 气管和连接器。
4） 旋转供料器开关支架 C 背面的树脂部件，卸下数字
压力开关。
5） 装配时请按照相反的顺序进行。
9-3-1． 数字压力开关（负压）的调整
更换数字压力开关后，请进行以下设置。
压力开关阈值 ：0.400MPa
磁滞差动 ：5.000MPa
显示色方式 ：压力开关 ON 时为绿色
动作方式 ：磁滞方式
压力开关输出形态 ：正规开（超过阈值则 ON）
响应时间 ：2.5ms 以下
自动预调设置 ：手动设置
设置按下述步骤进行。
树脂固定座
供料器开关支架C
数字压力开关
正面側
护罩SB_A