00193974-01.pdf - 第87页
预防性维护 HF 系列 维护 2004 年 3 月中文版 11 维护 段位器光栅盘 87 切记将钻头推到真空孔内并可转 动，否则，会将脏物推入到段位器光栅盘中。 11 a 顺时针转动长真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除脏物 。 转动钻头，清除孔内的脏物。 s 顺时针转动真空孔内的 1.1 mm 钻头，将 脏物从横向真空孔中清除。 11 进行下列工作时，切勿裸手拿段 位器光栅盘。始终带上实验室手套。 11 始终将段位器光栅盘放回提供的 …
维护 预防性维护 HF 系列
11 维护段位器光栅盘 2004 年 3 月中文版
86
11
预防性维护 HF 系列 维护
2004 年 3 月中文版 11 维护段位器光栅盘
87
切记将钻头推到真空孔内并可转动，否则，会将脏物推入到段位器光栅盘中。
11
a 顺时针转动长真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除脏物。
转动钻头，清除孔内的脏物。
s 顺时针转动真空孔内的 1.1 mm 钻头，将脏物从横向真空孔中清除。
11
进行下列工作时，切勿裸手拿段位器光栅盘。始终带上实验室手套。
11
始终将段位器光栅盘放回提供的容器中。 11
11
d 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
11
维护 预防性维护 HF 系列
11 维护段位器光栅盘 2004 年 3 月中文版
88
11