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维护 预防性维护 HF 系列 11 维护段位器光栅盘 2004 年 3 月中文版 88 11
预防性维护 HF 系列 维护
2004 年 3 月中文版 11 维护段位器光栅盘
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切记将钻头推到真空孔内并可转动，否则，会将脏物推入到段位器光栅盘中。
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a 顺时针转动长真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除脏物。
转动钻头，清除孔内的脏物。
s 顺时针转动真空孔内的 1.1 mm 钻头，将脏物从横向真空孔中清除。
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进行下列工作时，切勿裸手拿段位器光栅盘。始终带上实验室手套。
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始终将段位器光栅盘放回提供的容器中。 11
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d 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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a 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器的光栅盘摩擦轮。
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s 用浸有无水乙醇的无纺布清洁增量盘。
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d 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘轴。
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