FX-3_Maintenance_Rev2_C.pdf - 第29页
Rev 2.00 维修调整要领书 3-2 ① 紧固扭矩： 0.9N · m ②SM6034002TN 内六角螺栓 M 3 × 40 ② 紧固扭矩： 0.6N · m E3052729000 贴装头过滤器 ③SL6030692TN 带垫片内六角螺栓 M 3 × 6 40068171 大气开放用过滤器 ④ 带垫片内六角螺钉 （× 2 ） ①SM6031602TN 内六角螺栓 M 3 × 16 3-2 ． 过滤器的更换 降低主体的原压力，进行…
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3-1
危险
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
XY 轴使用了非常强力的磁铁。
· 金属类物件请勿接近磁铁面。有可能被磁力吸住而无法取下。
· 进行保养时，请将手表等随身携带的精密器械从身上取下。
· 正在使用心房脉冲产生器等精密医疗仪器的人，请勿进行保养作业。
3 贴装头周边部件
3-1． 电磁阀的更换
降低主体的原压力，进行更换。
1） 先拆下①带垫片内六角螺钉（×2）、②带垫片内六角螺钉（×2），再拆下 SV 保护罩，电线导向。
2） 先拆下③带垫片内六角螺钉（×2）、扎线、空气软管，再拆卸电磁阀主体。
3） 先拆卸④盆头螺钉（×2），再拆卸各电磁阀。（注意不要弄丢电磁阀背面的垫圈）
4） 装配请按相反的步骤进行。
5） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
※ ④盆头螺钉（2 个）和密封垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
图 3-1-1 电磁阀的更换
紧固扭矩：0.15±0.02N·m
SV保护罩
电线导向
40046835
电磁阀
40068170
电磁阀B
40068169
电磁阀V
④盆头螺钉
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
②SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
③SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
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3-2
①紧固扭矩：0.9N·m
②SM6034002TN
内六角螺栓 M3×40
②紧固扭矩：0.6N·m
E3052729000
贴装头过滤器
③SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
40068171
大气开放用过滤器
④带垫片内六角螺钉（×2）
①SM6031602TN
内六角螺栓 M3×16
3-2． 过滤器的更换
降低主体的原压力，进行更换。
＜贴装头过滤器的更换＞
1） 先拆卸① cap（×2）、② cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
＜电磁阀大气开放用过滤器的更换＞
1） 先拆卸③带垫片内六角螺钉（×2）再拆卸 SV 保护罩。
2） 拧松④螺钉（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松螺钉就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ④带垫片内六角螺栓（2 个）是电磁阀的附属品。
图 3-2-1 贴装头过滤器的更换
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3-3
3-3． 坏标记传感器的更换
3-3-1． 传感器部
1） 拆下①带垫片内六角螺钉（×2）、BM 镜头支架 A（B）。（图为 BMR 镜头支架 A（RR 贴装头用））
2） 先拆下②螺母、③垫圈，再拆下④镜头。
3） 装配请按相反的步骤进行。
BMR 镜头支架 B（LR 贴装头用）也同样进行。
※ ②螺母（2 个）和③垫圈是光纤装置的附属品。
图 3-3-1-1 BMR 镜头更换
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
RR贴装头：BMR镜头支架A
LR贴装头：BMR镜头支架B
②螺母
③垫圈
②螺母
④E9638729000
光纤镜头
7㎜