FX-3_Maintenance_Rev2_C.pdf - 第37页

Rev 2.00 维修调整要领书 3-10 3-6 ． ZT 驱动电路板的更换 3-6-1 ． ZT 驱动电路板的更换 1 ） 请参照 02 章 2-1 贴装头装置的更换和更换后的调整 2 ）、 3 ）、 9 ）、 10 ）。 2 ） 从 ZT 驱动支撑装置中拆下 ① 带垫片内六角螺钉（× 8 ），然后请拆下 ZT 驱动电路板。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 图 3-6-1-1 驱动电路板更换 ①SL4030691SC 带垫片内六角…

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3-9
3-5． 贴装头电路板的更换
3-5-1． 贴装头主电路板的更换
1） 先拆下①圆头螺钉（×6）、②加紧器（×2），再拆卸主保护罩。
2） 先拆下各种插头，然后拆下③带垫片内六角螺钉（×6）后拆贴装头主电路板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ 贴装头主电路板在出库时都是调整好的，所以不需要进行调整作业。
如有故障，请按照 QA 表 10-8 页“Head 真空电平以及温度传感器输出电平”进行检查。
图 3-5-1-1 主保护罩
图 3-5-1-2 贴装头主电路板的更换
①SM3040652TN
圆头螺钉 M4×6
②加紧器
主保护罩
③SL4030691SC
带垫片内六角螺钉 M3×6
40047506
贴装头主电路板组件
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3-10
3-6． ZT驱动电路板的更换
3-6-1． ZT驱动电路板的更换
1） 请参照 02 章 2-1 贴装头装置的更换和更换后的调整 2）、3）、9）、10）。
2） 从 ZT 驱动支撑装置中拆下①带垫片内六角螺钉（×8），然后请拆下 ZT 驱动电路板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
图 3-6-1-1 驱动电路板更换
①SL4030691SC
带垫片内六角螺钉 M3×6
40044535
4轴整体型伺服放大器
40047343
ZT驱动支撑装置
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4-1
危险
为了防止突然的起动造成事故，请关掉电源之后再进行操作。
4 OCC装配
4-1． OCC装配件更换
1） 请取下①带垫片内六角螺钉，卸下镜头组件。
2） 照明组件被②带垫片内六角螺钉所固定。拆掉各个连接器，取下各自的安装螺钉，进行更换。
3) 安装时，请按照相反的顺序进行操作。（请在①带垫片内六角螺钉（×2）、②M4 带垫片内六角螺
钉（×2）上涂上粘结剂 LOCTITE242）
4） 更换镜头组件后，请进行焦点调整、MS 参数输入。更换照明组件后，请进行 OCC 照明的调整。（参
照 4-7 项 更换后的重新调整一览表）
图 4-1-1 OCC 装配
LF・RR贴装头：XM底座A
LR・RF贴装头：XM底座B
40046815
OCC镜头组件
40046816
OCC照明组件
①SL6052092TN
带垫片内六角螺栓 M5×20
②SL6041292TN
带垫片内六角螺栓 M4×12