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CM602-L 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-168 12. 按操作面板上的 + [ 真空泵 ] 。 • 真空泵停止运行，显示状态将从 ON 变为 OFF 状态。 13. 按两次功能键 。 EJM8A-C-MMC01-A05-01 EJM4A-Ma-00 06 13 12
CM602-L
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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6.
选择更换阀的工作台。
7.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵开动，显示状态将从
OFF
变为
ON
状态。
8.
按操作面板上的
+
pos1
的
[
真
空
]
。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态。
9.
确认更换后的阀吸头的真空值小于
−
10
。
(
在
部分上显示
)
10.
按操作面板上的
+
更换后的
pos
的
[
真空
]
。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
11.
确认更换后的阀吸头的真空值为
±
2
左右。
(
在
部分上显示
)
∗
请对
pos2
，
pos3
也同样反复进行步骤
8. ~ 11.
的操作。
下一页
EJM8A-C-MMC01-A05-01
EJM4A-Ma-0012
6
7
8
1
9
EJM4A-Ma-0014
10
2
11
CM602-L
维修手册
1.10
消耗零件的更换
Page 1-168
12.
按操作面板上的
+
[
真空泵
]
。
•
真空泵停止运行，显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
13.
按两次功能键
。
EJM8A-C-MMC01-A05-01
EJM4A-Ma-0006
13
12
CM602-L
维修手册
1.10
消耗零件的更换
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1.10.6
清扫阀的更换
更换步骤
∗ 进行维护作业时有必要拆下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装，
1.2.4
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1.
将电源开关置于
OFF (O)
的同时，停止
空气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
2.
打开安全盖。
3.
卸下固定螺栓
(2
根
)
，取下清扫阀。
4.
拔出配线连接。
5.
逐根地卸下清扫阀上的配管，接到新阀上。
∗
如果
1
次卸下全部的配管，以后将难以恢复，
所以请
1
根
1
根地拆卸。
6.
接上配线连接器。
7.
安装阀。
EJM8A-C-MMC01-A05-01
EJM4A-132E
EJM4A-054P
清扫阀
(
高速吸头、通用吸头
)
固定螺栓
EJM4A-055P
清扫阀
(
多功能吸头
)