N7201A003C.pdf - 第475页
CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Pa ge 3-77 (5/6) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 VL11 NP1 切换空气开放· 吹气 AF VL12 NP2 切换空气开放· 吹气 AF VL13 NP3 切换空气开放· 吹气 AF VL14 NP4 切换空气开放· 吹气 AF VL15 NP5 切换空气开放· 吹气 AF VL16 NP6 切换空气开放· 吹气 AF VL17 NP7 切换空气开放· 吹气 AF…
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-76
(4/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
HVL201
NP1
真空阀
AF
HVL202
NP2
真空阀
AF
HVL203
NP3
真空阀
AF
HVL204
NP4
真空阀
AF
HVL205
NP5
真空阀
AF
HVL206
NP6
真空阀
AF
HVL207
NP7
真空阀
AF
HVL208
NP8
真空阀
AF
HVL209
NP9
真空阀
AF
HVL210
NP10
真空阀
AF
HVL211
NP11
真空阀
AF
HVL212
NP12
真空阀
AF
HVL201
NP1
真空阀
AR
HVL202
NP2
真空阀
AR
HVL203
NP3
真空阀
AR
HVL204
NP4
真空阀
AR
HVL205
NP5
真空阀
AR
HVL206
NP6
真空阀
AR
HVL207
NP7
真空阀
AR
HVL208
NP8
真空阀
AR
HVL209
NP9
真空阀
AR
HVL210
NP10
真空阀
AR
HVL211
NP11
真空阀
AR
HVL212
NP12
真空阀
AR
HVL201
NP1
真空阀
BF
HVL202
NP2
真空阀
BF
HVL203
NP3
真空阀
BF
HVL204
NP4
真空阀
BF
HVL205
NP5
真空阀
BF
HVL206
NP6
真空阀
BF
HVL207
NP7
真空阀
BF
HVL208
NP8
真空阀
BF
HVL209
NP9
真空阀
BF
HVL210
NP10
真空阀
BF
HVL211
NP11
真空阀
BF
HVL212
NP12
真空阀
BF
HVL201
NP1
真空阀
BR
HVL202
NP2
真空阀
BR
HVL203
NP3
真空阀
BR
HVL204
NP4
真空阀
BR
HVL205
NP5
真空阀
BR
HVL206
NP6
真空阀
BR
HVL207
NP7
真空阀
BR
HVL208
NP8
真空阀
BR
HVL209
NP9
真空阀
BR
HVL210
NP10
真空阀
BR
HVL211
NP11
真空阀
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
HVL212
NP12
真空阀
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-77
(5/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
AF
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
AF
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
AF
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
AF
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
AF
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
AF
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
AF
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
AF
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
AR
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
AR
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
AR
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
AR
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
AR
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
AR
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
AR
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
AR
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
BF
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
BF
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
BF
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
BF
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
BF
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
BF
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
BF
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
BF
VL11
NP1
切换空气开放·吹气
BR
VL12
NP2
切换空气开放·吹气
BR
VL13
NP3
切换空气开放·吹气
BR
VL14
NP4
切换空气开放·吹气
BR
VL15
NP5
切换空气开放·吹气
BR
VL16
NP6
切换空气开放·吹气
BR
VL17
NP7
切换空气开放·吹气
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
VL18
NP8
切换空气开放·吹气
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-78
(6/6)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
VL21
NP1
真空阀
AF
VL22
NP2
真空阀
AF
VL23
NP3
真空阀
AF
VL24
NP4
真空阀
AF
VL25
NP5
真空阀
AF
VL26
NP6
真空阀
AF
VL27
NP7
真空阀
AF
VL28
NP8
真空阀
AF
VL21
NP1
真空阀
AR
VL22
NP2
真空阀
AR
VL23
NP3
真空阀
AR
VL24
NP4
真空阀
AR
VL25
NP5
真空阀
AR
VL26
NP6
真空阀
AR
VL27
NP7
真空阀
AR
VL28
NP8
真空阀
AR
VL21
NP1
真空阀
BF
VL22
NP2
真空阀
BF
VL23
NP3
真空阀
BF
VL24
NP4
真空阀
BF
VL25
NP5
真空阀
BF
VL26
NP6
真空阀
BF
VL27
NP7
真空阀
BF
VL28
NP8
真空阀
BF
VL21
NP1
真空阀
BR
VL22
NP2
真空阀
BR
VL23
NP3
真空阀
BR
VL24
NP4
真空阀
BR
VL25
NP5
真空阀
BR
VL26
NP6
真空阀
BR
VL27
NP7
真空阀
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
VL28
NP8
真空阀
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01