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CM602-L 维修手册 1.10 消耗零件的更换 Page 1-172 10. 按操作面板上的 + [ 清扫吹气 ] 。 • 显示状态将从 ON 变为 OFF 状态。 11. 确认通过步骤 10. 的操作来喷出的声音有 变小。 ∗ 因周围的噪音等，而听不见喷出音时 ，请打开 安全盖将手指靠近吸嘴尖端部，并确 认喷出压 力是否变小。 12. 按操作面板上的 + pos1 的 [ 真空 破坏 ] 。 • 显示状态将从 ON 变为 OFF …
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维修手册
1.10
消耗零件的更换
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6.
选择更换阀的工作台。
7.
按操作面板上的
+
pos1
的
[
真空
破坏
]
。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态，从吸嘴处喷
出破坏真空压力的空气。
8.
按操作面板上的
+
[
清扫吹气
]
。
•
显示状态将从
OFF
变为
ON
状态，从吸嘴处喷
出清扫吹气压力的空气。
9.
确认通过步骤
8.
的操作来喷出的声音有变
大。
∗
因周围的噪音等，而听不见喷出音时，请打开
安全盖将手指靠近吸嘴尖端部，并确认喷出压
力是否变大。
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1.10
消耗零件的更换
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10.
按操作面板上的
+
[
清扫吹气
]
。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
状态。
11.
确认通过步骤
10.
的操作来喷出的声音有
变小。
∗
因周围的噪音等，而听不见喷出音时，请打开
安全盖将手指靠近吸嘴尖端部，并确认喷出压
力是否变小。
12.
按操作面板上的
+
pos1
的
[
真空
破坏
]
。
•
显示状态将从
ON
变为
OFF
状态，吸嘴停止喷
出空气。
13.
按两次功能键
。
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1.10.7
基板搬送皮带·滚轮的更换
如果在定期检查时发现异常，请按以下步骤更换基板搬送皮带和滚轮。
∗ 进行维护作业时有必要拆下供料器工作台盖和整体交换台车。
(
“1.2.2
整体交换台车的拆卸和安装，
1.2.4
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1.
将电源开关置于
OFF (O)
的同时，停止
空气的供给。
∗
请将电源开关和主空气阀上锁。
2.
拉拽皮带将其取下。
∗
需要更换滚轮时，请参照后述的滚轮更换，并
进行更换。
3.
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
从机器正面观看的配置
左传送带 右传送带
上图的
号码
长度[mm] 长度[mm]
925 745
1390 1195
1195 1390
745 925
1351 1351
4.
调整皮带的张力。
(
“1.6.6
基板传送带的检查
”)
5.
将电源开关置于
ON ( I )
的同时，开始空
气的供给。
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