雅马哈3D-AOI技术介绍汇总_Media.pdf - 第28页

d33 对于镜 面反光 的晶圆 级 csp 的检查 匿 YAMAHA 对于难 于进行 3D 检查 的镜面 元件, 开 发了新 功能, 通 过延长 曝光时 间实现 3D 检查 正 常参数 光 线在镜 面上会 反光, 3D 形状无 法还原 WLCSP 参数 在镜 面元件 （如 WLCSP） 的 视野内 改变成 像参数 来提高 还原性