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VM102 2018.0520 - 101 - ( 单位 : mm) Remarks 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上 讲，并不完全一致。 在研讨生产线构成和尺寸时，请另行 索取资料。 本机下部如有设置通风道等时，请确保与 主体间空隙保持 40 mm 以上。 编带供料器规格 （ 固定供给部 x2 ） 前 侧 卷 盘 支架 卷 盘 支架 卷 盘 支架 1 055 954.5 1 003.5 基板传送基准 300 1…
VM102 2018.0520
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13.
尺寸图
(
单位
: mm)
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
托盘供料器规格
（固定供给部
+
托盘供料器）
前 侧
A
i
r
电源
2 372
卷盘支架
1 068.5 1 303.5
207
100
1 055
954.5 1 003.5
基板传送基准
300 114 1 958
卷盘支架
托盘供料器
108
1 303.5
318
5.3 5.3
2 000
1 500
1 515 (传送带长度)
1 504.4 (罩外形)
900
(基板传送基准)
VM102 2018.0520
- 101 -
(
单位
: mm)
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
编带供料器规格
（固定供给部
x2
）
前 侧
卷盘支架
卷盘支架
卷盘支架
1 055
954.5
1 003.5
基板传送基准
300 1 958
2 258
954.5 1 303.5
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
前 侧
A
IR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
コンベヤー基準面
電源
1 080
1 318 90 90
1 058
860.5
265 335
1 081
1 680
819.5
基板传送基准
1 498
220 220
电源