KE-2050_2060故障检修.pdf - 第42页

故障检修 錯誤消息集 3-23 E5 1 2659 Z5 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。 E5 1 27 11 θ1 轴移动时伺服驱动警报 ( 过电流 ) E5 1 27 1 2 θ1 轴移动时伺服驱动警报 ( 过负荷 ) E5 1 27 1 3 θ1 轴移动时伺服驱动警报 ( 过电压 ) E5 1 27 1 4 θ1 轴移动时伺服驱动警报 ( 驱动电源异常或伺服电源被关闭 ) E5 1 27 1 5 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (…

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故障检修 錯誤消息集
3-22
E512318 Y 轴(YL)移动时界限错误
E512319 Y 轴(YL)移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512411 YR 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512412 YR 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512413 YR 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512414 YR 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512415 YR 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512416 YR 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512417 YR 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512418 YR 轴移动时界限错误
E512419 YR 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512611 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512612 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512613 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512614 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512615 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512616 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512617 Z1 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512618 Z1 轴移动时界限错误
E512619 Z1 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512621 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512622 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512623 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512624 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512625 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512626 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512627 Z2 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512628 Z2 轴移动时界限错误
E512629 Z2 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512631 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512632 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512633 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512634 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512635 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512636 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512637 Z3 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512638 Z3 轴移动时界限错误
E512639 Z3 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512641 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512642 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512643 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512644 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512645 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512646 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512647 Z4 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512648 Z4 轴移动时界限错误
E512649 Z4 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512651 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512652 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512653 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512654 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512655 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512656 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512657 Z5 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512658 Z5 轴移动时界限错误
故障检修 錯誤消息集
3-23
E512659 Z5 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512711 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512712 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512713 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512714 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512715 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512716 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512717 θ1 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512718 θ1 轴移动时界限错误
E512719 θ1 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512721 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512722 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512723 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512724 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512725 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512726 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512727 θ2 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512728 θ2 轴移动时界限错误
E512729 θ2 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512731 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512732 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512733 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512734 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512735 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512736 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512737 θ3 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512738 θ3 轴移动时界限错误
E512739 θ3 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512741 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512742 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512743 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512744 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512745 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512746 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512747 θ4 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512748 θ4 轴移动时界限错误
E512749 θ4 轴移动前指定的坐标，超过移动范围。
E512751 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (过电流)
E512752 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (过负荷)
E512753 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (过电压)
E512754 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (驱动电源异常或伺服电源被关闭)
E512755 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (过热错误)
E512756 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (译码器异常或 Magnet 刻度错误)
E512757 θ5 轴移动时伺服驱动警报 (通讯异常)
E512758 θ5 轴移动时界限错误
E512759 θ5 轴移动时界限错误
E512900 轴移动被紧急停止按钮强行停止。
E512901 轴移动时发现软件逻辑错误。
E512902 发现范围错误。
E512903 发现传送带浮动。
E513001 MTC 运转异常。
E513002 MTC 抽出不同元件。
E513003 不能从 MTC 吸着元件。
W513401 MTC 电源被关闭。
W513402 MTC 被紧急停止。
故障检修 錯誤消息集
3-24
W513403 MTC 未结束原点返回。
W513404 MTC 处于脱机状态。
W513405 MTC 机箱门被打开。
W513406 MTC 机盖被打开。
W513407 MTC 处于错误状态。
W513408 MTC 处于交换元件状态。
Q513601 是否废弃 MTC 元件？
I513801 滑梭上有元件。请取下元件。
I513802 因保护元件暂停。请取下元件。
I513803 不能归还 BGA 元件。请取下元件。
E514001 MTS 运转异常。
E514002 MTS 抽出异样元件。
W514401 MTC 电源被关闭。
W514402 MTS 被紧急停止。
W514403 MTS 未结束原点返回。
W514404 MTS 处于关闭状态。
W514405 MTS 机箱门被打开。
W514406 MTS 无堆叠箱。
W514407 MTS 处于出错状态。
W514408 MTS 处于交换元件状态。
Q514601 是否废弃 MTS 元件？
I514802 为保护元件暂停。请取下元件。
E515001 DTS 运转异常。
E515002 DTS 抽出不同元件。
W515401 DTS 未结束原点返回。
W515402 DTS 机盖被打开。
W515403 DTS 处于出错状态。
W515404 DTS 处于交换元件状态。
_520000
_520000_520000
_520000
E520000 不能吸取 MTC 上的元件。
E520001 MTC 上的元件与指定元件不一致。
E520002 给 MTC 归还元件时，MTC 发生错误。
E520003 给 MTC 滑梭归还元件时，滑梭真空出错。
E520012 给 MTC 滑梭归还元件时，发生 Head 附着元件返回的错误。
E521005 激光错误:(LNK_FAIL) 传感器与 MCM 之间通讯发生错误。
E521007 激光错误:(NO_ALG) 被要求错误测量方法。
E521008 激光错误:(NO_START) 没有连接传感器，或硬件出错。
E521010 激光错误:(BAD_SENSOR) MCM 不能检索正确的传感器数据。
E521012 激光错误:(BAD_EE_VERSION) 固件不能识别 EEPROM 版本。
E521013 激光错误:(BAD_EE_DATA) 从传感器 EEPROM 读取校准数据发生错误。
E521014 激光错误:(BAD_EE_SYNC) 从传感器 EEPROM 读取校准数据发生错误。
E521015 激光错误:(POWER_LOW) MCM 发现电压下降，导致传感器不能正常运作。
E521017 激光错误:(OVER_CURR) MCM 发现电压下降，导致传感器不能正常运作。
E521060 激光错误:(SHORT_BUF) 激光数据用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521061 激光错误:(LONG_BUF) 激光数据用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521062 激光错误:(SHORT_CMD) 激光命令用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521063 激光错误:(LONG_CMD) 激光命令用通讯缓冲器字节长度偏小。
E521064 激光错误:(NO_PART) 测量中检测不到阴影
E521065 激光错误:(TOOL_SLOW) MCM 处理器不能跟上测量速度。
E521067 激光错误:(ABORTED) MCM 被接受强行停止测量命令。
E521070 激光错误:(ALG_ERR) 固件发现了不应该发生的状况。
E521075 激光错误:(PRV_ERR) 检查端点(Peak)中发现前一次的端点检查错误。
E521077 激光错误:(WIDE_ERR) 检查元件间距中，发现元件间距不够长。
E521078 激光错误:(SMALL_WIN) 被指定小于 2000 Micron 的窗口。
E521079 激光错误:(WIN_BLOCKED) 窗口被赌塞错误。