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操作篇 4. 自动生产 SI-F130AI 4-15 · 絕對 座標移動 ( 绝对坐标移动 ) , ST A R T , 結束 ( ) , 在轨道移 动中按操作面板 ST OP 钮时立即停止 , 再度按 ST AR T 钮 , 再开始移动至 目标位 置。…
操作篇
4. 自动生产
4-14
SI-F130AI
4.2.2 基板搬送设定
[ 操作顺序 ]
(1)
轨道宽度的调整
基板搬送
( ) 調整 ( )
图
4.2.2
自動生產－動作設定
(
自动生产－动作设定
)
画面
移動模式 ( ) 絕對座標移動 ( ) 相對座標移動 (
) 微調動作移動 ( )
ORG
·所谓 絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
为将轨道宽度的基准点当原点，由原点移往设定框内表
示的目标轨道宽度。不论现在位置在何处移动至目标宽度。
·所谓 相對座標移動
(
相对坐标移动
)
为以现在的宽度为起点只移动指定的移动。
即使相同移动，若改变现在的宽度
，得到的轨道宽度均不同。
·所谓 微調動作移動
(
微调动作移动
)
为使用游标执行移动。按游标则立即移动，连续按押
时，则连续移动。
· 軌道寬度絕對位置
(
轨道宽度绝对位置
)
的文本框中只能输入数值，无法变更轨道宽度。依
照下列步骤按
START
钮，执行轨道移动。
動作設定
( ) 動作設定 ( )
注意 :
操作篇
4. 自动生产
SI-F130AI
4-15
· 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 )
,
START ,
結束
( ) ,
在轨道移动中按操作面板
STOP
钮时立即停止
,
再度按
START
钮
,
再开始移动至目标位
置。
· 相對座標移動 ( 相对坐标移动 )
START
(+) (-)
轨道移动中按操作盘的
STOP
钮时立即停止
,
再度按
START
钮
,
再开始移动至目标位置。
結束 ( ) ,
·
微調動作移動 ( 微调动作移动 )
高速 ( ) 低速 ( )
SHIFT
結束 ( )
(2) 基板的搬出搬入
基板操作 ( ) ,
搬入 ( ) 搬出 ( )
終了 ( ) 動作設定 ( )
(3) 基板的搬出间隔
設定 ( )
注意 :
注意 :
操作篇
4. 自动生产
4-16
SI-F130AI
4.2.3 停止模式设定
連續 ( ) 循環停止 ( ) 步驟停止 ( )
動作停止 ( )
[ 画面说明 ]
4
連續 ( )
循環停止 ( )
1
步驟停止 ( )
1
動作停止 ( )
1