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2-20 传感器及负载配置图 5OM-1752 1306-002 B_DWN1 B_SH1 Y_UP1 Y_SH B_CMP1 B161 1 Symbol Name Symbol Name Y_SH Nozzle Stocker 2 Shutter Open/Close 1 Y_UP1 Multi Function Nozzle Stocker 2 Ascending 1 B_DWN1 Multi Function Nozzle Sto…

2-19

传感器及负载配置图

5OM-1752

Y146

M142(1L,2L)

M141(1Z,2Z)

B144

NOZZLE1 NOZZLE2

Y145

B143

1306-002

多功能安装头部布局

Symbol Name Symbol Name

M141 Nozzle Z-Axis Motor B143 Height Detection Sensor

M142 Nozzle L-Axis Motor B144 L-Axis - Limit

Y145 Vacuum Valve

Y146 Vacuum Break Valve

2-20

传感器及负载配置图

5OM-1752

1306-002

B_DWN1

B_SH1

Y_UP1

Y_SH

B_CMP1

B1611

Symbol Name Symbol Name

Y_SH Nozzle Stocker 2 Shutter Open/Close 1

Y_UP1

Multi Function Nozzle Stocker 2 Ascending 1

B_DWN1 Multi Function Nozzle Stocker 2

Unit Lower Limit Detection 1

B_SH1 Multi Function Nozzle Stocker 2

Shutter Close Check 1

B_CMP1

Multi Function Nozzle Stocker 2 Clamp Check 1

B_1611

Multi Function Nozzle Stocker 2

Setup Error Detection

多功能吸嘴储料器部布局

5OM-1752

1305-001 3-A

第三章

元件配置图

本章节记载了各部的布局等。

因含有一定的难度，参考时请充分注意。