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3-7 3-6 温 调警报 在生产动作中如果检测到温调警报,则现 在生 产的基板将强 制终止。 同时,在发生温调 警报 的状 态下,不能开 始生产。 ①温度调节器、 温度传感器的故 障 ②刚开始启动后 温度未上升 错误的处理方法 ① 确认温度调节 器的 电 源处于 ON 。 ② 如果确认表示 温度,确实 没有达到 设定温度时,请等 待温度上升。 ③ 在显示出错 误代码时,可能 发生了故 障。 此时,请与弊公 司的服务部咨询 。 错误画面…

3-6
3-5 盖打开
如果在生产动作中打开安全盖,则现在
生产的基板将被强制结束。
这是因为在生
产中途重新开始生产时,无法
进行聚酯带试胶。
此外,打开安全盖时,不能开始生产。
①在生产动作中,打开了安全盖。
②盖打开传感器故障。
错误的处理方法
请盖上安全盖后按下开始开关,重新开始生产。
错误画面 错误起因、原因
设置为在基板上进行试胶时,在重新开始生产时在相同位置试胶。使用已经进行
过试胶的基板时,请擦去胶粘剂。

3-7
3-6 温调警报
在生产动作中如果检测到温调警报,则现
在生产的基板将强制终止。
同时,在发生温调警报的状态下,不能开
始生产。
①温度调节器、温度传感器的故障
②刚开始启动后温度未上升
错误的处理方法
① 确认温度调节器的电源处于 ON。
② 如果确认表示温度,确实没有达到设定温度时,请等待温度上升。
③ 在显示出错误代码时,可能发生了故障。
此时,请与弊公司的服务部咨询。
错误画面 错误要因、原因

◆ 修订履历
改版 日期 修订页 修订内容 备注
00 2008.02 初版
01 2008.06
P1-1, 2-1,3,8~9,
3-1,3,6
修订
02 2010.08 ⅲ,P1-1,2-9,10 对应 IS 修订
03 2017.05 P1-1 对应 JaNets 修订