KD-2077_操作手册.pdf - 第31页

◆ 修订履历改版日期修订页修订内容备注 00 2008.02 初版 01 2008.06 P1 - 1, 2 - 1,3,8 ～ 9, 3- 1,3,6 修订 02 2010.08 ⅲ ,P1 -1 ， 2 -9 ， 10 对应 IS 修订 03 2017.05 P1 -1 对应 JaNets 修订

3-7

3-6 温调警报

在生产动作中如果检测到温调警报，则现

在生产的基板将强制终止。

同时，在发生温调警报的状态下，不能开

始生产。

①温度调节器、温度传感器的故障

②刚开始启动后温度未上升

错误的处理方法

① 确认温度调节器的电源处于 ON。

② 如果确认表示温度，确实没有达到设定温度时，请等待温度上升。

③ 在显示出错误代码时，可能发生了故障。

此时，请与弊公司的服务部咨询。

错误画面错误要因、原因

◆ 修订履历

改版日期修订页修订内容备注

00 2008.02 初版

01 2008.06

P1-1, 2-1,3,8～9,

3-1,3,6

修订

02 2010.08 ⅲ,P1-1，2-9，10 对应 IS 修订

03 2017.05 P1-1 对应 JaNets 修订

制造商

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